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电子技术——MOS管的物理特性
增强型 MOSFET 是应用最广泛的场效应晶体管。除了最后一节,我们整章讨论的都是增强型 MOSFET 。我们从它的物理元件结构和物理操作入手,在下一节我们会在本节的基础上学习 MOSFET 的电流-电压特性。 元件结构
介绍到这里这个名字的意义就显示出来(金属-氧化物-FET晶体管)。另外,还存在另一种不使用栅极的场效应管。实际上,大多数现代MOSFET都使用硅栅工艺进行制作,也就是多晶硅来形成栅极。我们今后不考虑工艺的影响。 MOSFET的另外一个名称是 隔绝栅极的场效应管 或是 IGFET 。通过观察物理结构我们发现,栅极通过硅氧化物从源极漏极隔离出来,不与源极漏极相连,实际使用上的栅极电流在 1 0 − 15 10^{-15} 10−15 安培左右。 底物分别和源极和漏极形成了两个pn结。在大多数情况下,这两个pn结总是反向偏置的。因为,我们以后会看到,漏极电压总是比源极电压高,因此在栅极无作用电压的情况下,漏极和源极被pn结所阻断不导通。在这里我们假设底物对pn结的作用无影响,进而MOSFET被看做是一个三端元件(分别是源极S,漏极D,栅极G)。马上我们将会展示,栅极电压G控制着源极S到漏极D之间的电流强度。电流从漏极纵向的通过沟道区域流向源极。注意到MOSFET的沟道区域有宽度 W W W 和长度 L L L 两个重要的参数。 一般情况下,长度大多在0.03到1微米之间,宽度在0.1到100微米之间。最后一点,MOSFET是一个对称元件,意味着源极和栅极可以交换而不影响电路的特性(实际上不总是这样,因为有结内电容和寄生二极管的影响)。 零栅极电压假设栅极电压为零,那么源极和漏极直接可以看做是两个背对背的二极管,两个背对背的二极管阻断了源极和漏极直接的电流,因此在栅极电压为零的情况下,源极和漏极之间具有很高的阻抗,大概在 1 0 12 10^{12} 1012 欧姆的数量级。 创建电流沟道考虑下图的情况:
首先第一方面,栅极附近(沟道区域)底物中的空穴(带正电)被向下排斥离开沟道区域,在沟道区域形成耗散区。这个耗散区填充了带价电子的接受原子。这些电荷是“裸露的”因为中性空穴被推至底物的下侧。 另一方面,栅极的正电压吸引源极和漏极中的电子,进入耗散区。当大量的电子聚集在栅极极板的下方,一个临时的连接着漏极和源极的n类型区域就被创建,如下图所示:
为了形成沟道,电压 v G S v_{GS} vGS 有一个最低数值,称为 阈值电压 ,记作 V t V_t Vt 。显然 V t V_t Vt 对于NMOS来说是正电压,范围在0.3V-1.0V左右。 沟道和栅极的金属极板之间形成了一个平行板电容器,硅氧化物层充当电容的电介质。栅极的金属极板带正电为正极板,而沟道带负点为负极板。因为是平行板电容器,所以在电介质存在垂直的匀强电场。电场控制着沟道中电子的数量,进而决定沟道的导电性。也就是说,源极和漏极直接的电流强度受栅极和底物之间电容电场的控制,这个现象称为 场效应 。场效应晶体管因此得名。 平行板电容器直接的电压必须大于 V t V_t Vt 才能形成沟道。当源极和漏极均接地,也就是电压均为零,此时沟道沿着水平方向的电压是均匀的均为零,也就是平行板电容器之间的电压为 v G S v_{GS} vGS 。 v G S v_{GS} vGS 超过 V t V_t Vt 的电压称为 有效电压 或是 过驱动电压 ,并且过驱动电压的值决定着沟道中的电子数量,在本课程中,我们将 v G S − V t v_{GS} - V_t vGS−Vt 记为 v O V v_{OV} vOV 。 v O V ≡ v G S − V t v_{OV} \equiv v_{GS} - V_t vOV≡vGS−Vt 那么平行板电容器中的电荷量为: ∣ Q ∣ = C o x ( W L ) v O V |Q| = C_{ox} (WL) v_{OV} ∣Q∣=Cox(WL)vOV 在这里 C o x C_{ox} Cox 称作 氧化物容值 。这个是平行板电容器的单位面积电容值(单位 F / m 2 F/m^2 F/m2)。 W W W 是沟道宽度, L L L 是沟道长度。氧化物容值由以下方程给出: C o x = ϵ o x t o x C_{ox} = \frac{\epsilon_{ox}}{t_{ox}} Cox=toxϵox 在这里 ϵ o x \epsilon_{ox} ϵox 是硅氧化物的介电常数。 ϵ o x = 3.9 ϵ 0 = 3.45 × 1 0 − 11 F / m \epsilon_{ox} = 3.9\epsilon_0 = 3.45 \times 10^{-11} F/m ϵox=3.9ϵ0=3.45×10−11F/m 氧化物层厚度 t o x t_{ox} tox 由半导体制作工艺决定。 电荷量可以由沟道深度体现,也就是 v O V v_{OV} vOV 和电荷量和沟道深度成正比, v O V v_{OV} vOV 越大沟道越深。 应用小电压 v D S v_{DS} vDS介绍完MOS的导电原理-沟道,我们在源极和漏极之间应用电压 v D S v_{DS} vDS 。如下图所示:
我们想计算 i D i_D iD 的值,我们假设电压值 v D S v_{DS} vDS 足够小,以至于我们依然可以看沟道沿着水平方向的电压是均匀的并且等于 v G S v_{GS} vGS。进而沟道沿着水平方向的有效电压均为 v O V v_{OV} vOV ,则单位长度的电容值是: ∣ Q ∣ L = C o x W v O V \frac{|Q|}{L} = C_{ox} W v_{OV} L∣Q∣=CoxWvOV 沟道的水平电场强度为: ∣ E ∣ = v D S L |E| = \frac{v_{DS}}{L} ∣E∣=LvDS 这个沟道的水平电场强度决定了电子的漂移速度: v e = μ n ∣ E ∣ = μ n v D S L v_e = \mu_n |E| = \mu_n \frac{v_{DS}}{L} ve=μn∣E∣=μnLvDS 在这里 μ n \mu_n μn 是电子在n类型区域的迁移率。这个值取决于半导体制作工艺。 因此根据电流的微观表达式,漏极电流等于单位长度长的电荷量乘以电子的漂移速度: i D = [ ( μ n C o x ) ( W / L ) v O V ] v D S i_D = [(\mu_nC_{ox})(W/L)v_{OV}]v_{DS} iD=[(μnCox)(W/L)vOV]vDS 因为沟道沿着水平方向的电压是均匀的,也可以写作是: i D = [ ( μ n C o x ) ( W / L ) ( v G S − V t ) ] v D S i_D = [(\mu_nC_{ox})(W/L)(v_{GS} - V_t)]v_{DS} iD=[(μnCox)(W/L)(vGS−Vt)]vDS i D i_D iD 和 v D S v_{DS} vDS 之前存在电导关系,电导 g D S g_{DS} gDS 为: g D S = ( μ n C o x ) ( W / L ) v O V = ( μ n C o x ) ( W / L ) ( v G S − V t ) g_{DS} = (\mu_nC_{ox})(W/L)v_{OV} = (\mu_nC_{ox})(W/L)(v_{GS} - V_t) gDS=(μnCox)(W/L)vOV=(μnCox)(W/L)(vGS−Vt) 第一个因子 ( μ n C o x ) (\mu_nC_{ox}) (μnCox) 由硅半导体本身和半导体的制作工艺决定,也被称为 工艺互导参数 对于NMOS记为: k n ′ = μ n C o x k_n' = \mu_nC_{ox} kn′=μnCox 单位为 A / V 2 A/V^2 A/V2 。 第二个因子 W / L W/L W/L 称为MOS管的 宽长比 。这个参数由MOS的型号、设计者所决定。通过改变MOS管的宽长比获得不同的导电特性。因为 W / L W/L W/L 具有无量纲特性,因此MOS的尺寸可以做的无限小。尽管如此,取决于当前的半导体的制作工艺,也存在一个最小值 L m i n L_{min} Lmin ,2009年45nm制程,到目前为止(2023年)最小制程为7nm,向5nm推进。最后,氧化层厚度也会随着减小。 将前两个因子相乘,我们得到特定MOS管的导电系数: k n = k n ′ ( W / L ) k_n = k_n' (W/L) kn=kn′(W/L) 第三个因子 v O V v_{OV} vOV 由电路设计者决定, v O V v_{OV} vOV 决定了沟道的导电性。 给定一个确定的 g D S g_{DS} gDS 我们可以将MOS管看成一个电阻,具有阻值:
r
D
S
=
1
g
D
S
r_{DS} = \frac{1}{g_{DS}}
rDS=gDS1 最后一点,因为栅极的隔绝性导致 i G = 0 i_G = 0 iG=0 ,因此 i S = i D i_S = i_D iS=iD 。 应用大电压 v D S v_{DS} vDS接下来我们考虑当 v D S v_{DS} vDS 继续增大的情况。我们依旧假设 v G S > V t v_{GS} > V_t vGS>Vt ,此时我们不能再看沟道沿着水平方向的电压是均匀的,而是一种沿水平方向的线性变化,如图:
当 v D S v_{DS} vDS 增大,沟道会变得更窄,进而沟道的电阻会逐渐变大。因此,则 i D − v D S i_D-v_{DS} iD−vDS 曲线不再是一条直线,而是一条阻值逐渐变大的弯曲曲线,如图(注意我们现在只关心MOS在 v D S < V O V v_{DS} < V_{OV} vDS |
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