“干涉测量法”是一种利用波的干涉现象进行测量的一种方法，常见的波有光波、无线电波或声波。测量可能涉及对波本身的某些特性以及与波相互作用的材料进行测量。此外，“干涉测量法”还用于描述通过光波研究位移变化的技术。在精密加工应用中，广泛采用这种位移干涉测量法进行校准和机械台的运动控制。

通过使用两束光（通常将一束光分为两束光），可在其叠加时形成干涉图。由于可见光的波长非常短，两束光的光路（传播距离）稍有不同就能被检测出来（因为这些差异会在干涉图上产生明显的变化）。因此，一个多世纪以来，光学干涉测量法一直是一项非常有价值的测量技术。随着激光的发明，干涉测量法的精度得以改进。