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1、电子气体介绍

电子特气，即电子特种气体，有100多种，在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气体沉积、掺杂等工艺，被广泛应用于半导体（42%）、显示面板（37%）、太阳能（13%）、LED（8%）等行业。

电子特气在半导体制造的材料成本中占比高达13%，是仅次于硅片的第二大材料。

在半导体生产环节中，使用的品种包括：高纯度的SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，这些气体通过不同的制程使硅片具有半导体性能，也决定了集成电路的性能、集成度、成品率。

为了保证半导体器件的质量与成品率，特种气体产品要同时满足“超纯”和“超净”的要求，“超纯”要求气体纯度达到 4.5N、5N 甚至 6N、7N，作为特种气体的核心参数，纯度每提升一个N，粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级，都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。

（N 是 Nine 的简写，几个 N 就代表有几个 9，例如 3N 的纯度为99.9%），“超净”即要求严格控制粒子与金属杂质的含量。

目前国内企业普遍做到5-6N，而林德和法液空等海外领先企业技术可达6-9N。

2、电子特气市场市场规模

随着全球半导体产业链向国内转移，国内电子气体市场增速明显，远高于全球增速。近几年我国电子特种气体行业市场规模情况如下图所示，2020年我国特种电子气体行业市场规模约173.6亿元，其中集成电路及器件领域占比44.2%；面板领域占比34.7%；太阳能及LED等领域占比21.1%。

资料来源：公开资料

资料来源：公开资料

由于半导体等下游技术更迭带来附加值不断提高，电子特气市场增长超越了整个半导体材料增速，中国半导体行业协会预计到2024年电子特气行业规模将达到230亿元。

3、电子特气市场竞争格局

在供应商方面，当前全球供应高纯度气体的厂家大多为日本企业，例如：昭和电工、大阳日酸、关东电化工业、ADEKA（艾迪科）、日本中央硝子（CentralGlass）、住友精化、大金工业等，主要品种与厂商对应关系如下：

高纯度CI2（氯气）——昭和电工和ADEKA（艾迪科）

高纯度HBr（溴化氢）——昭和电工（全球唯一从合成到精制一体化生产）

WF6（六氟化钨）——关东电化工业（全球占比30%）

CF4（四氟化碳）、CHF3（三氟甲烷）——关东电化工业（全球占比40%）、COS（全球占比60%）

2020年我国电子特气市场达173.6 亿元，空气化工、林德集团、法国液空、大阳日酸合计占据全球90%以上市场份额；国内企业的部分产品已经实现了技术突破，部分产品达到了半导体生产用气体的技术水平和工艺要求，实现进口替代。

4、重要标的梳理

国内涉及电子特气的公司主要有雅克科技、南大光电、昊华科技、华特气体、金宏气体、凯美特气、中船七一八所（未上市）等，产品各有所侧重。其中，雅克科技已经得到大基金的支持，以南大光电、华特气体为代表的气体公司已经切入了国内一线半导体厂商，金宏气体为代表的气体公司在积极切入一线半导体供应链。

近两年电子特气行业迎来历史机遇期，能够抓住难得的窗口期，紧密绑定国内优秀半导体厂商的企业有望最终脱颖而出，实现技术快速积累突破和业绩爆发。

雅克科技：大基金入主

公司成立于1997 年，起家于阻燃剂业务，近些年公司先后通过收购华飞电子进入硅微粉领域、收购韩国UP Chemical 进入半导体前驱体领域、收购科美特进入高纯特种气体领域、收购苏州科特美、LG化学彩色光刻胶事业部进入LCD 光刻胶及配套试剂领域，目前已成功转型为以电子材料为核心，以LNG保温绝热板材为补充，以阻燃剂业务为辅的战略新兴材料平台型公司。

在电子特气方面，成都科美特为台积电、三星电子、Intel、中芯国际、海力士及京东方等企业批量供应四氟化碳等产品。另外，成都科美特的技改扩能项目六氟化硫新产线已开始投产，四氟化碳新产线建设积极推进并预计将于今年第四季度开始投产。随着技改扩能项目的建成，四氟化碳和六氟化硫的产销量将继续增长。

截止2021年9月30日，国家集成电路产业投资基金股份有限公司持有公司5.57%股份。

南大光电：磷烷龙头

公司重点布局半导体材料版图，除光刻胶以外，亦有MO 源、ALD 前驱体、磷烷、砷烷、含氟特气等多种IC核心材料，且诸多产品均已打入中芯国际、长江存储、台积电等国内外一线晶圆厂，此外在LED、面板及光伏领域亦有诸多建树。

公司收购完成国内前三含氟电子特气供应商飞源气体，布局含氟特气市场。目前NF3市场需求处于紧平衡，飞源NF3气体相比国外SK、KDK等厂商具有原料和运输成本优势。同时，磷烷与砷烷属于高纯特气中技术门槛和开发难度最高的两种，公司经多年攻关后已开始量产6N级以上高纯气体，占据国内75%市场份额，并进入世界一流公司供应名单。

公司控股子公司宁波南大光电拟通过增资扩股方式引入战略投资者大基金二期。大基金二期将以合计18330万元的价格，认购公司宁波南大光电的新增注册资本6733.19万元。

昊华科技：国内六氟化硫龙头

公司拥有特种气体研究和生产基地，且特种气体的收入占比呈现逐年升高态势，电子气体产品已进入中芯国际供应链，同时供货长鑫存储、华虹宏力、华润上华、镁光、德州仪器、吉林华微电子等十余家半导体企业。

2020年10月，公司含氟电子气体新项目在河南洛阳奠基，该项目计划投资9亿元，预计建设周期18个月，将具备年产4600吨特种气体的能力，包括3000吨/年三氟化氮、1000吨/年四氟化碳及600吨/年六氟化钨。

华特气体：氟代烷烃龙头

公司专业从事气体及气体设备的研发和生产，气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、电光源气体、超高纯气体、标准气体、激光气体、医用气体、食品工业用气体等十几个系列共200多个品种。公司现已成为国内最大的民营特种气体及相关设备供应商之一，同时产品出口到50余个国家和地区。

公司是国内率先打破IC及显示面板用特种气体的厂商，公司具有生产销售高纯六氟乙烷、高纯四氟化碳、高纯二氧化碳等230多种特种气体的能力，客户不仅覆盖台积电、中芯国际、华虹宏力等晶圆代工企业，还覆盖太阳日酸、普莱克斯和法液空等国际巨头。

金宏气体：特种气体、大宗气体和天然气

公司能够为客户提供特种气体、大宗气体和天然气三大类100多个气体品种，公司的产品线较广，既生产超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、干冰、硅烷、其他超高纯气体、混合气等特种气体，又生产应用于半导体行业的电子大宗气体和应用于其他工业领域的大宗气体及天然气。

公司主要产品应用于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造、食品、冶金、化工、机械制造等众多领域，其中的超纯氨、高纯氢、高纯氧化亚氮、硅烷混合气、八氟环丁烷等特种气体以及电子级氧、氮是电子半导体行业不可或缺的关键原材料。

凯美特气（002549）：主要是干冰，布局电子特种稀有气体

公司主要从事干冰、食品添加剂液体二氧化碳及其他工业气体的研发、生产和销售业务，主要产品广泛应用于饮料、冶金、食品、烟草、石油、农业、化工、电子等多个领域。公司旗下的优质干冰产能已达年产2万吨，可用于疫苗、食品、药物等冷链运输环节。

公司电子特气项目生产芯片、半导体、医疗等领域急需的超高纯电子特气和电子级多元混配气，目前高品质电子特种气体产品已实现多单销售并已得到国内外多家客户的认可。

风险提示：以上分析仅供参考，不作为投资建议