张振生，副研究员，量子科学与工程研究院重大科学仪器研发中心常务副主任。南开大学物理专业学士（2001），北京大学凝聚态物理专业博士（2006）。2016年8月入职南方科技大学。美国项目管理师(PMP)和中国信息系统高级项目管理师。曾参与国家科技重大专项项目，在科学仪器公司担任部门主管和系统设计师。熟悉多种微纳加工技术，十年大型科学仪器研发和产业化经验。发表精密仪器相关专利10余项。

研究领域

量子材料生长与表征、科研仪器研发与产业化

教育经历：

2001.09-2006.06，博士，北京大学，物理学院，凝聚态物理专业。

1997.09-2001.07，本科，南开大学，物理学院，凝聚态物理专业。

工作经历

2018.01-现 在，副研究员，量子科学与工程研究院，南方科技大学。

2016.08-2017.12，研究副教授，物理系，南方科技大学。

2006.07-2016.07，系统设计工程师，睿励科学仪器公司。

科研项目：

Ø2018.01-2020.12 深圳市制造业创新中心项目：米级单晶石墨烯薄膜制造平台，参与。

Ø2017.07-2019.06 深圳市量子科学与工程重点实验室，参与。

Ø2009.01-2015.12 国家科技部科技重大专项：集成电路生产全自动光学测量设备研发与应用，参与。

论文及专利：

ØY. Zhou, J. Lai, L. Kong, J. Ma, Z. Lin, Zhang Z. S., Zhi-Min Liao, Dong Sun, and Dapeng Yu, Single crystalline SmB6 nanowires for self-powered, broadband photodetectors covering mid-infrared, Applied Physics Letters, 2018, 112(16), 162106.

ØZ. S. Zhang, H. P. Chen, et al., Sensitivity Study and Parameter Optimization of OCD Tool for 14 nm FinFET Process, Proc of SPIE 2016, 9778-121.

Ø张振生，施耀明，孙冬梅，陈慧萍，基于前值的关键尺寸测量方法和设备，2019.02.19，中国授权专利，ZL201510323992.6。

Ø张振生，史丹丹，徐益平，施耀明，王鑫，一种用于获取样品参数信息的匹配方法和装置， 2018.05.01，中国授权专利，ZL201310629919.2。

Ø王鑫，张振生，施耀明，徐益平，确定测量模式和光学系统参数容差的方法和装置，2018.07.06，中国授权专利，ZL201410542475.3。