因此在高频即短波长领域对粗糙度的检测更为重要。 　　白光干涉仪作为一种三维形貌测量设备，能准确测量亚纳米尺度的表面粗糙度。软件还能根据各种相关标准，进行表面形貌分析，获得多种参数，包括波纹度、翘曲等。 　　当粗糙度远小于入射波长时，散射率与Sq直接相关。然而当粗糙度较大时，二者的关系就不太明显。此时，散射率与样品表面斜率关系更大，需要用几何光学模型描述。...

粗糙度仪的工作原理针描法又称触针法。当触针直接在工件被测表面上轻轻划过时，由于被测表面轮廓峰谷起伏， 触针将在垂直于被测轮廓表面方向上产生上下移动，把这种移动通过电子装置把信号加以放大， 然后通过指零表或其它输出装置将有关粗糙度的数据或图形输出来。粗糙度仪的主要测量方法：1、干涉法干涉法是利用光波干涉原理来测量表面粗糙度。...

最常见的是传统干涉测量法、白光干涉测量法和原子力显微镜。下面的图4展示了哪些区域和波长最适合这些技术。图4:典型计量设备的空间频率范围。传统的干涉测量法对于测量低空间频率误差是理想的。这类表面误差被称为图形误差，并且与典型的Zernike多项式相关联。泽尼克多项式描述了当光学元件偏离理想形状时由波前像差引起的误差。白光干涉仪最适合测量波度或中等范围的空间频率误差。...

　　白光干涉仪优势： 　　价格优势：市场上性价比的白光干涉仪。 　　简单易用：只需将样品放置于样品台上，即可直接进行测量； 　　可以测量非接触式非平坦样品：由于光学轮廓测量法是一种非接触式技术，可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。还轻松地测量曲面的表面光洁度，纹理和粗糙度。除此之外，作为一种非接触式方法光学轮廓仪不会像探针式轮廓仪那样损坏柔软的薄膜。 　　...