油蒸汽喷射泵尤其适合在 1 ~ 10-3 mbar 压力范围内抽取数量较多的气体或蒸汽。喷嘴中的蒸汽流密度更高，可确保蒸汽流中所抽走气体的扩散速度比扩散泵慢得多，因此只有蒸汽流的外层被气体渗透。此外，由于喷嘴的特殊构造，发生扩散的表面要小得多。因此，蒸汽喷射泵的比抽速小于扩散泵。由于在高得多的进气压力下，射流附近的被抽取、气体会决定性地影响流动线路的走向，只有在特定进气压力下才能实现理想工况。所以，在低进气压力下，抽速不会保持不变。由于蒸汽流的速度和密度都很高，油蒸汽喷射泵可以在相对较高的前级压力下输送气体。其临界前级压力为几个毫巴。当今真空技术中使用的油蒸汽喷射泵通常具有一个或多个扩散级和几个后续的喷射级。增压器的喷嘴系统由两个扩散级和两个喷射级以级联方式构成（参见图 2.47）。扩散级可在 10-4 ~ 10-3 mbar 之间提供较高的抽速（参见图 2.48），而喷射级则可在高压（参见图 2.49）和高临界前级压力下实现高气体通过量。通过选用大规格的油锅和大型泵液储罐，可以防止对泵液中溶解的灰尘和蒸汽过于敏感。油锅中可以容纳大量杂质，而不会让抽气特性变差。