本发明涉及旋涂设备技术领域，尤其涉及一种旋涂仪真空吸盘装置。

背景技术：

旋涂技术是旋转涂抹法的简称，是有机发光二极管中常用的制备方法，主要有设备为旋涂仪。工作过程包括:配料，高速旋转，挥发成膜三个步骤，通过控制旋涂的时间，转速，滴液量以及所用溶液的浓度、粘度来控制成膜的厚度。

目前大多数厂家均采用真空吸盘固定样品进行旋涂，但经常会因为种种原因导致甩片并使胶料被真空泵吸入，从而损害真空泵。

技术实现要素：

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种旋涂仪真空吸盘装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

设计一种旋涂仪真空吸盘装置，包括真空外罩，所述真空外罩上贯穿设有电机轴，电机轴的轴线上设有气孔，所述电机轴的一端固定连接在电机的输出端上，另一端固定连接有密封圈，密封圈上吸固有样品，所述真空外罩的两侧分别设有通孔，其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置，另一侧通孔连接有抽气口，抽气口连接有真空泵，真空泵与抽气口之间设有外置阀门，真空压力监测装置的控制输出端与电机(1)和外置阀门相连。

优选的，所述电机轴对应密封圈的一端设有与密封圈相匹配的燕尾槽，密封圈固定在燕尾槽内，确保密封圈放置后不会脱落。

优选的，所述气孔为“十”字形结构，所述气孔的顶部与密封圈的内腔相连通，气孔的两侧与所述真空外罩相连通。

优选的，所述电机轴位于真空外罩的上下的贯穿孔上均固定设有轴封，轴封确保真空外罩的气密性。

优选的，所述电机采用高速无刷电机。

优选的，所述真空压力监测装置内设有报警装置，真空压力监测装置监测真空外罩内的压力没达到所需压力时，吸力不足会通过报警装置自动报警并控制电机停转，并切断抽气管道。

本发明提出的一种旋涂仪真空吸盘装置，有益效果在于：本发明采用全新的真空吸盘气路连接方式及真空压力监测，可有效解决旋涂仪在工作中发生甩片的问题，具有结构简单、成本低廉等优点，还可满足长时间高速旋转的要求，本装置通过真空外罩上抽气口与真空泵连接，利用电机轴上的气孔导气，将样品放置在带气孔的电机轴上方，通过密封圈密封，真空外罩上配有真空监测装置，若真空度不够导致吸力不足，会自动报警并控制电机停转，同时关闭真空泵抽气阀门。

附图说明

图1为本发明提出的一种旋涂仪真空吸盘装置的结构示意图。

图中：电机1、电机轴2、气孔21、轴封3、真空压力监测装置4、真空外罩5、贯穿孔51、密封圈6、样品7、抽气口8。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1，一种旋涂仪真空吸盘装置，包括真空外罩5，真空外罩5上贯穿设有电机轴2，电机轴2的轴线上设有气孔21，电机轴2的一端固定连接在电机1的输出端上，另一端固定连接有密封圈6，电机1采用高速无刷电机，密封圈6上吸固有样品7，气孔21为“十”字形结构，气孔21的顶部与密封圈6的内腔相连通，气孔21的两侧与真空外罩5相连通，电机轴2对应密封圈6的一端设有与密封圈6相匹配的燕尾槽，密封圈6固定在燕尾槽内，确保密封圈6放置后不会脱落，利用真空吸力使样品7其与带孔电机轴2固定并同步旋转，电机轴2位于真空外罩5的上下的贯穿孔上均固定设有轴封3，轴封3确保真空外罩5的气密性。

真空外罩5的两侧分别设有通孔，其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置4，另一侧通孔连接有抽气口8，抽气口8上连接有真空泵，真空泵与抽气口8之间设有外置阀门，真空压力监测装置4可控制电机1和外置阀门的工作，当样品7放置不正或者漏气导致吸力不足，在高速旋转下会发生甩片现象，涂仪真空吸盘装置配备真空压力监测装置4，当真空吸力不足时自动报警并切断高速无刷电机1旋转信号，涂仪真空吸盘装置采用全新的真空吸盘气路连接方式及真空压力监测，可有效解决旋涂仪在工作中发生甩片的问题。

抽气口8连接有真空泵，真空泵与抽气口8之间设有外置阀门，真空压力监测装置4的控制输出端与电机1和外置阀门相连，真空压力监测装置4内设有报警装置，真空压力监测装置4监测真空外罩5内的压力没达到所需压力时，吸力不足会通过报警装置自动报警并控制电机1停转，并切断抽气管道。

在操作前先将真空泵与抽气口8对接，中间通过外置阀门控制气流通断，将样品7放置在电机轴2上，中间通过密封圈6隔离，启动真空泵，样品7在真空作用下被吸附在电机轴2上，启动电机1，装置正常工作。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结本发明涉及旋涂设备技术领域，尤其是一种旋涂仪真空吸盘装置，包括真空外罩，所述真空外罩上贯穿设有电机轴，电机轴的轴线上设有气孔，所述电机轴的一端固定连接在电机的输出端上，另一端固定连接有密封圈，密封圈上吸固有样品，所述真空外罩的两侧分别设有通孔，其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置，另一侧通孔连接有抽气口。本发配备真空压力监测装置，当真空吸力不足时自动报警并切断电机旋转信号，采用全新的真空吸盘气路连接方式及真空压力监测，可有效解决旋涂仪在工作中发生甩片的问题。

技术研发人员：周焱文受保护的技术使用者：武汉普迪真空科技有限公司技术研发日：2018.12.21技术公布日：2019.04.12