1、真空泵温度过高：让气体冷却后再进入真空泵。吸入硬物磨损真空泵。应拆卸真空泵以去除硬物，并修理或更换刮伤的零件。

真空泵的冷却水流量最少。冷却水的流速应该增加。装配不当造成转子轴向位移，造成单侧磨损。应将其拆卸、检查并重新组装。

2、真空泵油有问题：油位太低。添加足够的机油至机油标记的中心线。油被污染，油质变坏。应该更换新油。

3、油的品牌不符。应更换指定品牌的真空泵油。

4、油路堵塞，真空泵腔内没有保持适量的油。检查油路进油口和油阀，保持油路畅通。

5、密封圈泄漏。检查所有密封件的密封情况，更换损坏的密封圈。

6、压载阀垫片损坏或未拧紧。更换垫片，拧紧压载阀；

7、排气阀片损坏，密封不好。阀板应更换；

8、真空泵中的膜片压入时，过盈量过大，导致真空泵腔变形泄漏。真空泵腔应该修理或更换。

9、真空泵端面油封不良导致漏气。应拆卸端盖，检查杂质或不平整情况，并进行清洁或修理。

10、转子弹簧变形或断裂，转子叶片失效。弹簧的变形应修复或更换，以使转子与转子叶片配合良好。

11、进风口滤网堵塞。拆下过滤器，清洗，然后安装。