1.原因：装夹工件不可靠。

解决方案：工件在测量时（尤其是质量较小的工件），应确保有夹具装夹，测量时不能移动，这将有助于提高测量的准确性。

2.原因：工件表面粗糙度过大或者工件表面附着脏物。

解决方案：被测工件在测量前应先进行恒温处理，然后认真清洁被测物体表面，保证无脏物以及表面光洁度。

3.原因：三坐标测量机附件连接不可靠。

解决方案：进行测量前确保所有附件连接的可靠性。测座、测针、标准球等各环节连接紧固，无松动，清洁，无破损。

4.原因：进行测针校正。

解决方案：当更换测针进行测量时，请先进行三坐标测针的装配及校正，保证测量结果的可靠性。校正测针时，必须最少9个点，三层校正。如果使用5点校正，其沿测针的位置会出现很大偏差。

5.原因：测量方法错误。

解决方案：合理正确的测量方案，将会有效的提高测量的准确性，请在测量前对被测方案进行合理性确认。

6.环境条件因素也可引起测量误差，请在正确的环境下进行测量。