三坐标测量机作为一种制造业普遍认可的测量方式。使用三坐标进行测量时，平面度测量是几何量评价的基本内容，是１４类误差测量中基本也是具有代表性的。

    平面度，是属于形位公差中的一种，指物体表面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。在传统的检测方法中，平面度的测量通常有：液平面法、激光平面干涉仪测量法（平晶干涉法）、水平仪/数字水平仪测量法等。

    如今，用三坐标测量平面度原理和方法平面度公差用以限制平面的形状误差。其公差带是距离为公差值的两平行平面之间的区域。 三坐标在测量平面度时，在平面上采取数个测量点。

    平面度公差用以限制平面的形状误差。其公差带是距离为公差值的两平行平面之间的区域。三坐标在测量平面度时，在平面上采取数个测量点，用测量点以最小二乘法拟合一个平面，包容所有测量点的两个平行平面间的距离为平面度。这两个平行平面平行于拟合的最小二乘平面。最小二乘法的原理是，所有测量点距离拟合元素（平面、直线、圆、圆柱）的距离的平方和最小。

    应用三坐标测量平面度时需要注意，针对工件选择对应的三坐标测头配置，粗糙度不同的平面，对平面度的要求是不一样的。粗糙度越大的平面，尽量选择直径较大的探针。导入CAD模型时选择导入ICES文件，建立好工件坐标系让模型与工件对齐，使用面选择器选择样件的上表面作为实验案例，红色离亮部分为待测区。

    一般情况下，三坐标对平面度测量点数越多反应的被测平面的平面度越真实。平面度测量，无论采用哪种法则，都至少要测４点。因此首先要规划测量路径，根据被测平面的长宽为80X80，我们可以编辑一个栅格点的测量路径，也可以把我们从CAD上选取的平面PLN1拖人“测量”模块的“面”图功能，在数显取设置测量点数为80后点击“生成测量点”，检查生成的测量路径，点击“测量”

    完成上述测量步骤，评估平面度：切换到“公差”模块的“平面度”功能，拖入已测量的实际平面PLN1到元素名如图6，输入公差带0.02点击“定义公差”确认设置，完成被测平面的平面度公差评估。

平面度测量数据处理

    三坐标的平面度计算方式与以往所熟悉的计算方法不一样，不需要使用计算法、作图法、对角线发等求取平面度的误差值。都是通过软件自动计算出被测面得平面度公差，我们只需要输出公差报告就可以直观看出平面误差的“图形错误报告”。

    在高精度测量领域，思瑞测量公司的croma三坐标测量机产品以其在硬件和软件配置上具有的优势，使用三坐标进行采点测量工作时，为保证测量结果真实可信，应予充分重视。不论是形状误差、还是位置误差，或者尺寸的测量，有了正确的测点信息，才能保证计算评价的真实性。