从 800mm 口径的大反射镜，到 1mm 口径的微透镜阵列，瑞霏光电自由曲面测量系统提供全面的面型测量能力。

产品优势

1. 对各种自由曲面光学元件的表面进行非接触全口径测量

2. 简单、精确、快速、可重复的测量方式，表面无需喷粉处理

3. 自动完成数据对比分析误差，完善的三维分析功能

测量功能

✔️ 三维面型数据测量

✔️ 面型逆向分析

✔️ 面型轮廓精度评价

适用对象  

自由曲面反射镜、曲面盖板玻璃、模芯、精密模具、玻璃面板、透镜、微透镜阵列、晶圆片等

测量原理

从产品研发、生产过程到质量控制，这款独立的系统可用于开展光学设计、加工与检测的前端研发设计过程、智能生产过程和后端质量检测过程。

应用范例

玻璃自由曲面反射镜

模芯

晶圆片

测量分析软件

具有丰富分析功能同时易用性强的三维测量分析软件，包括：三维轮廓误差 PV、RMS、表面瑕疵、曲率、斜率、尺寸分析、各种多项式拟合、空间滤波和各类数据导出。

FF系列技术规格

产品型号

FF1000

FF2000

FF3000

高分辨率四相机

高分辨率六相机

镜面检测标准模式

最大测量视场（x*y）

400*250mm

650*400mm

800*500mm

最大倾角范围

±25° (*)

±35° (*)

±44° (*)

光学面型单次测量不确定度

±3μm(*)

镜面检测高陡模式

最大测量视场（x*y）

250*150mm

350x250mm

400*250mm

最大倾角范围

±35°(*)

±45°(*)

±54°(*)

光学面型单次测量不确定度

±3μm(*)

FF-calc软件

分析功能

三维比对误差、斜率误差、曲率误差、Highpass分析、全口径条纹畸变分析等

3D数据输出

3D点云数据、误差点云数据、曲率数据、预补偿点云数据

FF-Sim软件

实测面型点云和Zemax设计文件联合仿真分析畸变和MTF等

（* 表示以口径200mm凹面镜为基准的典型值，具体指标随零件口径和凹凸性质有调整。）

FF 系列瑞霏光电自由曲面测量系统将三维轮廓、三维误差、表面瑕疵、斜率曲率分析整合进入每一次测量，确保我们的客户在精密自由曲面领域提供品质领先的产品。