走进台积电了解晶圆制造流程

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走进台积电了解晶圆制造流程

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晶体硅经过高温成型,采用旋转拉伸的方法做成圆形的晶棒。

3、晶片分片

将晶棒横向切成厚度基本一致的晶圆片,Wafer。

4、Wafer抛光

进行晶圆外观的打磨抛光。

5、Wafer镀膜

通过高温,或者其他方式,使晶圆上产生一层Si02二氧化硅。Si02二氧化硅为绝缘材料,但有杂质和特殊处理的Si02二氧化硅有一定的导电性。这里Si02二氧化硅的作用是为了光的传导。就像用Si02二氧化硅做光导纤维一个道理。这是为了后面光刻。

6、上光刻胶

光刻胶和以前照相的胶片一个道理。Wafer上光刻胶,要求薄而平整。

7、光刻(极紫光刻EVO)

将设计好的晶圆电路掩模,放置于光刻的紫外线下,下面再放置Wafer。在光刻的瞬间,在Wafer被光刻的部分的光刻胶融化,被刻上了电路图。去除光刻胶,光刻胶上的图案要与掩模上的图案一致。再次光刻。一个晶圆的电路要经过多次光刻。随着极紫光刻新技术出现,晶圆的光刻变得更精确,也更有效率了,甚至可以一次完成全部光刻了。

8、离子注射。

在真空的环境下经过离子注射,将光刻的晶圆电路里注入导电材料。一般在一次光刻后就离子注射。二次光刻后,再离子注射。但一次全部光刻,就可以直接进行离子注射了。

9、电镀

基本上晶圆完成了,接下来要在晶圆上电镀一层硫酸铜。铜离子会从正极走向负极。

10、抛光

打磨抛光Wafer表面,整个Wafer就已经制造成功了。

11、晶圆切片

将Wafer切成,单个晶圆Die。

12、测试

主要分三类:功能测试、性能测试、抗老化测试。具体有如:接触测试、功耗测试、输入漏电测试、输出电平测试、动态参数测试、 模拟信号参数测试等等。有坏的晶圆就报废,此为黑片;有一些测试没过,但不影响使用的分为白片,可以流出;而全部通过测试的为正片。

13、包装入盒

先给Wafer覆膜,再将其插入黑盒子中。

14、发往封测

Die(裸片)经过封测,就成了我们电子数码产品上的芯片。

晶圆制造流程介绍来源elecfans网站

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