三坐标测量机的误差源纷繁复杂，一般只修正那些对三坐标测量机精度影响比较大的误差源和那些比较容易分离的误差源，主要有以下几个方面：

1.温度误差

温度误差又称热误差或热变形误差，它不是温度本身的误差，而是由温度因素而引起额几何参数的测量误差。形成温度误差的主要因素是被测物体和测量仪的温度偏离20度或被测物体的尺寸和仪器的性能随温度变化。

解决方法：

2.测头校正误差

测头校验时，校验球及测针的不清洁不牢固及输入了错误的测针长度及标准球直径都会使测量时软件调用测头补偿文件时出现补偿误差或错误，影响测量精度。错误的测针长度及标准球直径都会使测量时软件调用测头补偿文件时出现补偿误差或错误，影响测量精度，甚至造成设备异常碰撞，导致损坏。

解决方法:

3.测量人员误差

在任何工作中，人一直是导致误差的最重要的因素之一，在对三坐标测量机的操作中，人员误差也是经常发生的，这种误差的发生与人员的专业水平和文化素质有着直接的关系，三坐标测量机是集多种高科技技术于一体的精密仪器，因此对操作人员就有严格的要求，一旦操作人员对机器使用不当则会导致误差的产生。

解决方法: 因此对三坐标测量机的操作人员不仅要求具有专业的技术，同时还要对此工作有高度的热情和责任心，熟悉掌握测量机的操作原理及维修知识，在操作中应付自如，能有效的发挥出测量机的功能性，并提高出其工作的效益，从而为企业获取最高的经济效益。

4.测量方法误差

三坐标测量机用于零件和部件的尺寸误差和形位公差的测量，特别对于形位公差测量更显示其高准确度、高效率、测量范围大的优点而形位公差的测量方法种类非常多，如果在测量形位公差时采用的检测原则不对，选用的方法不完善、不严密、不确切，便会造成测量方法误差。

解决方法: 因此，从事三坐标测量机工作的人，一定要熟悉测量方法，特别是对形位公差的检测原则和测量方法要非常熟悉，才能减少测量方法误差。

5.被测工件本身误差

因为测量机测量的原理是先采点，然后软件对所采点进行拟和计算误差。所以测量机测量时对零件的形状误差有一定的要求。当被测零件有明显的毛刺或沙眼时测量的重复性就明显变差，以至于操作员给不出准确的测量结果。 解决方法: 在这种情况下一方面要求对被测零件的形状误差进行控制，另外也可以适当增大测杆宝石球的直径，但测量误差显然要大一些。