1、中国上市公司中有不少公司涉足光刻机领域，其中最知名的是华虹半导体与中芯国际。华虹半导体的光刻机主要应用在8英寸及以下的工艺中，而中芯国际的液体光刻机在12英寸及以上工艺中具备一定的竞争力。

2、年光刻机唯一上市公司是智光电气。公司定位为综合能源技术与服务的领先提供商，在综合能源领域构建能源互联网时代的 产品+服务+投资经营平台。

3、生产光刻机上市公司：ABM、上海微电子装备有限公司、佳能、尼康。ABM ABM公司成立于1986年，总部位于美国硅谷SanJose。主要经营光罩对准曝光机（光刻机），单独曝光系统，光强仪/探针。公司的主要市场在美国和亚洲。

4、光刻机国产排名第一的是上海微电子。目前全球只有四家能够制造光刻机的公司，分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、中国上海微电子。这里说的光刻机指的是euv/duv浸润式光刻机。

5、中国电科光刻机是由中国电子科技集团公司旗下的重要子公司中国电子科技光电控制有限公司推出的光刻机产品。而中国电科光刻机于2014年7月29日成功注入了跨国电子公司安华高科技股份有限公司。

6、参以机器人光刻机三胎概念的上市公司有以下4个。京华激光，是一家专业从事激光全息模压制品制造、销售及技术开发的国家高新技术企业。位于浙江省绍兴市越城区中山路89号。

大族激光（002008）：光刻机龙头股。10月14日收盘消息，大族激光最新报价254元，涨67%，3日内股价上涨3%；今年来涨幅下跌-948%，市盈率为197。华特气体（688268）：光刻机龙头股。

光刻机龙头股票有：一，芯源微688037：光刻机龙头。2021年第一季度公司营收同比增长12272%至13亿元。二，华特气体688268：光刻机龙头。

晶瑞股份 核心逻辑：进口替代助力业绩增长，国产光刻胶核心标的。晶瑞股份是国内技术领先的微电子化学品龙头，产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能性材料、锂电池粘结剂等。

光刻胶概念股票龙头有：同益股份300538：光刻胶龙头股。该公司持续技术创新战略，凭借自身雄厚的科研实力，突破本土制造的长期技术瓶颈，已经成功开发出系列光刻胶产品。容大感光300576：光刻胶龙头股。

参以机器人光刻机三胎概念的上市公司有以下4个。京华激光，是一家专业从事激光全息模压制品制造、销售及技术开发的国家高新技术企业。位于浙江省绍兴市越城区中山路89号。

年光刻机唯一上市公司为智光电气，股票代码002169。智光电气主要从事电网安全与控制设备、电机控制与节能设备、供用电控制与自动化设备及电力信息化系统研发、设计、生产和销售。

年光刻机唯一上市公司为智光电气，股票代码002169。智光电气主要从事电网安全控制设备、电机控制节能设备、供电控制自动化设备、电力信息系统的研发、设计、生产和销售。

光刻机唯一上市公司是张江高科公司，光刻机（Mask Aligner）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

中国生产光刻机的上市公司如下：智光电气：智光电气主要从事电网安全与控制设备、电机控制与节能设备、供用电控制与自动化设备及电力信息化系统研发、设计、生产和销售。

大族激光（002008）：2020年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3- 5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。