SEM的EDS和mapping是什么区别？

          SEM的EDS和mapping有什么区别，我们先来简单了解一下SEM和EDS的原理。

SEM用于观察标本的表面结构，其工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。

EDS是扫描电镜上配搭的一个用于微区分析成分的配件——能谱仪，是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

SEM的EDS和mapping什么区别？

答：就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。EDS mapping时间就长的多了，尤其是如果想得到比较确定的数据的话，一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸，由于收集时间比较长，样品漂移的影响更大，所以比eels mapping 差不少。

“点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析,两者区别是扫描能谱的面积大小不一。点扫可以给出扫描元素的相对含量,测试准确性较高,常用于显微结构的成分分析。面扫是对样品某一区域的元素分布进行观察。”

扫描电镜能谱点扫，线扫和mapping之间的区别？

答：能谱点扫，线扫和mapping分别是在点范围，线范围，和面范围内获得样品的元素半定量信息，除此之外，线扫和mapping还能分析元素在线或面范围内的分布情况。

它们的意义在于点扫可以测试材料某一位置的元素种类和含量，面扫（mapping）的意义主要在于了解材料元素的区域分布，线扫的意义在于了解材料一条线上各个点的元素含量的变化。

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