EAP设备自动化系统基本功能与概念 |
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EAP(Equipment Automation Programming)实现了对生产线上机台的实时监控,是工厂自动化不可缺少的控制系统。EAP系统与FAB中的机台紧密相关,系统的设计与开发必须与生产线的机台实际生产流程相一致,才能达到自动化控制机台生产的目的。 EAP通过SECS/GEM国际标准协议与机台进行数据传输。SECS/GEM是半导体设备(半导体行业称设备为机台)必须遵循的一种国际通信协议。EAP就是通过此通讯协议与设备通信、传输数据、发送指令控制设备按照预先定义的流程进行生产加工,达到对设备远程控制和状态监控,实现设备运行的自动化。 苏州七件软件 行业领先的生产力软件供应商 提供如下EAP具体功能: RTM/FMB - Real Time Monitoring RMS – Recipe Management System |
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