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NTK提供半导体或液晶制造装置用精密零部件/功能性零部件、粉碎机等用耐损耗零部件“结构陶瓷产品”。 产品、服务 NTK CERATEC从材料的开发到加工，以高端的技术和品质来满足顾客的要求。 晶圆卡盘 提供半导体制造上不可缺少的各种规格的晶圆卡盘。 真空卡盘（针卡盘） 静电卡盘／陶瓷加热器 真空卡盘（多孔卡盘） 荧光板 PhosCera® 耐热性强、世界上独一无二的LED/LD用荧光扩散板。根据需求可以调整色彩和尺寸。 荧光板 PhosCera® 热喷涂 实施可以提高耐损耗、耐腐蚀、耐等离子性等性能的陶瓷热喷涂膜层的涂层施工。只要是陶瓷材料，也可以对应一体化制造。 陶瓷热喷涂 修复（再生） 凭借丰富的经验和独自的洗净技术、修复（再生）技术应对顾客需求。 修复（再生） 陶瓷产品 可以使用各种材质按照顾客需求的规格进行生产，也有部分常备产品。 委托产品（各种材质） 陶瓷材质一览可以使用各种材质按照顾客需求的规格进行生产。请根据机械特性和热、电气特性选择适合用途的材质。也可对应小批量订购。 机械特性特征数值上画有影线。 型号 密度g/cm3 弹性模量GPa 弯曲强度MPa 硬度GPa 破坏韧性MPa√m 氧化铝 （Al2O3） 标准品 A995 3.9 380 450 16 4 氧化铝 （Al2O3） 耐热冲击类型 A995S 3.9 370 230 15 - 氧化锆（ZrO2） 标准品 AYZ-3 6.0 200 1000 13 6 碳化硅 （SiC） 标准品 N-Type 3.1 410 500 24 3 氮化硅（Si3N4） 标准品 ASN-5 3.2 290 720 14 5 氮化铝（AlN） 标准品 N-Type 3.3 320 350 13 3 低热膨胀隔热陶瓷 阿德色拉姆-CS® D3 2.3 90 150 4.5 2 热、电气特性特征数值上画有影线。 型号 热膨胀系数×10-6/K 耐热冲击性K 热传导率W/m・K 电气电阻值Ω・cm 绝缘耐力kV/mm 介电常数 介质损耗×10-4 氧化铝 （Al2O3） 标准品 A995 7.3 200 30 >1014 12 10 1014 12 10 1014 - 10 10 35 20 碳化硅 （SiC） 标准品 N-Type 4.6 450 170 106 - - - 氮化硅（Si3N4） 标准品 ASN-5 2.3 700 26 >1014 >10 8 3 氮化铝（AlN） 标准品 N-Type 4.0 400 160 1014 >15 9 10 零膨胀高刚性陶瓷 ZPF N-Type - - 5 1012 - - - 低热膨胀隔热陶瓷 阿德色拉姆-CS® D3 0.9 700 1.3 1010 20 7.5 35 可加工的陶瓷 Macor® - 9.3 150 1.7 1016 40 6 50 咨询关于产品规格、资料索取、报价等，请在此咨询。 |
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