干法刻蚀工艺

激光刻蚀技术是指采用激光的精确刻蚀来加工材料的工艺，是近几十年来新兴

的非接触式制造技术，在微纳制造、电子微机械及集成电路制造等领域具有广泛的

应用前景。激光刻蚀技术结合传统的技术进行应用，解决各种材料的加工中出现的

问题，满足了工业加工过程中节省时间、降低成本、提高加工质量、改善加工精度

和制造控制等诸多需求。

一、激光刻蚀工艺优点

1

、分辨率高：刻蚀凹槽深度仅为激光点的半径，能够达到几十微米的深度，

达到激光刻蚀的最高质量，在加工金属板材等非晶硅材料时，可以获得极好的定

位准确度和图案精度。

2

、高速加工：刻蚀过程中，利用激光瞬间分解材料，以达到节省时间的目的，

使精密加工任务的完成时间缩短一半以上，不仅可减少加工材料的损坏，还可以

较大程度地节省加工劳动力。

3

、精度高：激光刻蚀即使在厚达几毫米的金属物体上，也可以保持定位精度

的高精度，同时还可以避免材料的加工损坏和产生污染物。

4

、应用范围广：激光刻蚀可以应用于各种金属、非金属和各种复合材料，如

金属板材、玻璃、塑料、木材、石材等，甚至可以用于复杂形状的产品的加工。

二、激光刻蚀工艺缺陷

1

、加工时长：激光刻蚀工艺的工作速度相对较慢，尤其是在较大的加工区域

时，由于激光的步进加工距离间隔较大，加工时间较长，不能有效实现加工件的

快速成形。

2

、刻蚀侵蚀能力弱：激光刻蚀工艺通常小口径激光，激光聚焦成像能量比较

小，刻蚀速度也比较慢，无法实现快速加工。