ES612A ESD测试仪(HBM、HMM、MM) |
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描述
1.描述
ES612A是一款2管脚ESD测试仪，为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM、HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口，可搭配数字源表等DC测试设备，较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612A可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展，也可用作器件质检规范流程的一步。 ES612A ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形性能。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形，用于确定保护电路的导通电平。此外，电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测，因此可进行ESD事件的损伤判定。 2.特点 低寄生参数，具有高质量脉冲 可定制，可扩展 可搭配探针台进行晶圆级测试 外置可选配的自动故障检测模块 大尺寸触摸控制面板，固件可升级 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能 3.应用 用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试 HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750 HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2019 MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2019 4.规格ES612A 控制主机 参数 ES612A-2K ES612A-4K ES612A-6K ES612A-8K ES612A-12K ES612A-20K 单位 输出电压 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 4000 ± 10 ~ 6000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V 最小输出电压步长 1V (500V以内)10V (2 kV以内) 1V (500V以内)10V (4 kV以内) 1V (500V以内)10V (6 kV以内) 1V (500V以内)10V (8 kV以内) 1V (500V以内)10V (12 kV以内) 1V (500V以内)10V (20 kV以内) V,kV 输出电压精度 优于± 1 % ± 5 V % 尺寸 347 X 300 X 145 mm 重量 5 6 6 6 6 7 kg 电压、电流测量 电压、电流测量无源探头 支持的示波器 Keysight， Tektronix，Lecory主流型号示波器 支持的SMU Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx 系列外置人体模型（HBM ）波形发生模块 (根据ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017) 参数 HBM-2K HBM-4K HBM-6K HBM -8K HBM -12K HBM -20K 单位 输出电压 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 4000 ± 10 ~ 6000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V 放电RC值 C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1% 短路峰值电流Ips 0.67A ± 10 % 每kV ns 短负荷上升时间Trs 2 < Trs < 10 ns 短负荷衰减时间Tds 130 < Tds < 170 ns 短负荷振铃Irs < 15% of Ips 500Ω负载峰值电流Ipr Ipr/Ips ≥ 63% 500Ω负载上升时间Trr 5 < Trr < 25 ns外置人体金属模型（HMM ）波形发生模块 (根据ANSI/ESD SP5.6-2019) 参数 HMM-8 HMM-24 HMM-36 单位 备注 HMM第一峰值电流 90 90 135 A 3.75 A每1 kV ≤ ± 10 %IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF) HMM电流@ 30 ns 48 48 72 A ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% ) HMM电流@ 60 ns 24 24 36 A ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% )外置机器模型（MM ）波形发生模块 (根据ANSI/ESD STM5.2-2019) 参数 MM-2 MM-4 单位 备注 输出电压 ±10 ~ 2000 ±10 ~ 4000 V 放电RC值 C: 200 pF, R: 0 Ω 短路负载峰值电流Ip1 1.75±10%每100V A 如果使用插座公差会不同 短路负载Ip2 Ip1的67% ~ 90% A 短路负载波形周期tpm 66 < tpm < 90 ns 500 Ω负载峰值电流Ipr 0.85 – 1.2 A @400V符合标准的条件 500 Ω负载I100 0.23 – 0.4 A @400V符合标准的条件 500 Ω负载I200 测量的 I100的30 -50% A 5.订购信息编号 型号 描述 ESD测试仪 1.1 ES612A-2K ES612 ESD测试仪, 最高2kV, 支持RS232 SCPI ES612A-4K ES612 ESD测试仪, 最高4kV, 支持RS232 SCPI ES612A-6K ES612 ESD测试仪, 最高6kV, 支持RS232 SCPI ES612A-8K ES612 ESD测试仪, 最高8kV, 支持RS232 SCPI ES612A-12K ES612 ESD测试仪, 最高12kV, 支持RS232 SCPI ES612A-20K ES612 ESD测试仪, 最高20kV, 支持RS232 SCPI 1.2 ES612A-HBM-2 人体模型2管脚模型, 2kV ES612A-HBM-4 人体模型2管脚模型, 4kV ES612A-HBM-6 人体模型2管脚模型, 6kV ES612A-HBM-8 人体模型2管脚模型, 8kV ES612A-HBM-12 人体模型2管脚模型, 12kV ES612A-HBM-20 人体模型2管脚模型, 20kV 1.3 ES612A-HMM-8 人体金属模型2管脚模型, 等同8kV HMM ES612A-HMM-24 人体金属模型2管脚模型, 等同24kV HMM ES612A-HMM-36 人体金属模型2管脚模型, 等同36kV HMM 1.4 ES612A-MM-2 机器模型2管脚测试仪模型, 2kV ES612A-MM-4 机器模型2管脚测试仪模型, 4kV 附件 2.1 CT-002-T 电流探头1kHz 至 2 GHz (优于Tektronix CT1 & CT2) 2.2 ES62X-CMPS 简易手动探针台 2.3 XYZM XYZ探针座, XYZ可移动500 mils, 0.01mm每个步进 2.4 XYZM-HBM HBM探针臂 2.5 XYZM-HMM HMM探针臂(47.5R) 2.6 HBM-TC0.3 0.3 mm用于IC探针封装的变桨测试夹 2.7 HBM-TC2.5 2.54 mm用于PCB探针的变桨测试夹(默认配置包含1组) 2.8 XYZM-PP048 0.48 mm用于封装级测试的弹簧针 (一包20个) 2.9 XYZM-TN1 钨钢针 – 5 mils尖头, 用于晶圆级测试 (一包10个) 第三方设备 3.1 KSMU2400 SMU, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于设备直流自动失效检测)) 3.2 OSC-1G 1 GHz BW, 5Gs/S, 4通道示波器 自动化解决方案 4.1 HBM-RE64X2 64X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 4.2 HBM-RE128X2 128X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 4.3 HBM-RE256X2 256X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 4.4 ES62X-PC-SW1 预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲和SMU 4.5 ES62X-PC-SW2 预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲、示波器和SMU 4.6 ES62X-PC-SW3 预装自动测试软件的台式电脑，用于RE 多管脚、脉冲、示波器和 SMU 4.7 ES650-150 全自动2管脚低寄生机械自动化方案 (不限制管脚, 不需要PCB, PC & 包含全自动软件) 相关 |
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