在编程中，源代码文件、目标代码文件和可执行文件是不同的文件类型，它们之间有以下区别：

源代码文件：源代码文件是程序员编写的原始代码文件，通常使用高级编程语言编写。源代码文件通常以特定的文件扩展名(如.c、.cpp、.java等)保存，并且包含程序的逻辑和算法、变量和函数定义等信息。源代码文件不能直接执行，需要经过编译和链接才能生成可执行文件。

目标代码文件：目标代码文件是源代码文件通过编译器和汇编器处理后生成的中间文件。目标代码文件包含机器语言指令和数据，但还没有被链接成可执行文件。目标代码文件通常以特定的文件扩展名(如.o、.obj等)保存，并且可以在不同的平台上进行交叉编译。

可执行文件：可执行文件是目标代码文件通过链接器处理后生成的最终文件，它包含计算机可以直接执行的指令和数据。可执行文件通常以特定的文件扩展名（如.exe、.app等）保存，并且可以在特定的操作系统和硬件平台上运行。

总体来说，源代码文件是程序员编写的高级语言代码文件，目标代码文件是编译器和汇编器生成的中间文件，可执行文件是链接器处理的最终文件。可执行文件是计算机可以直接执行的文件，而源代码文件和目标代码文件需要经过编译和链接才能生成可执行文件。