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商道创投网9月6日从官方获悉：合肥市纳诺半导体有限公司（以下简称“纳诺半导体”）近日宣布完成数千万A1轮融资，本轮融资由水木创投领投，老股东英诺天使基金超额跟投，一苇资本担任本轮独家财务顾问。本轮募集资金将主要用于技术研发、产品验证、产线量产扩充等方面。

纳诺半导体：实现关键技术国产化

纳诺半导体于2021年9月成立，致力于半导体前道缺陷检测设备研发，是一家图形晶圆光学缺陷检测设备制造商。纳诺半导体创始人朱俊博士在激光及检测设备产品开发和企业管理有着20多年的经验，他曾是KLA的DF（图形晶圆暗场缺陷检测）产品研发负责人，领导团队成功开发出PUMA DF产品。

早在纳诺半导体成立以前，该团队就已经着手系统设计，后来组建公司后，进一步完善技术团队，全面开展研发工作。目前，纳诺半导体团队成员达到50余人，其中超75%是技术人员，他们大多毕业于中科大、中科院等知名高校院所。在过去的两年中，纳诺半导体团队聚焦关键技术的深度研发，部分例如碳化硅气浮平移台、高分辨率深紫外光学聚焦镜头等方面与外部研究单位合作，加快实现关键技术国产化。

纳诺半导体目前自主开发和储备多种暗场缺陷检测技术，例如深紫外DUV照明光路技术、Memory傅立叶过滤器技术、采集光路技术、PMT成像技术、自动聚焦技术等。

融资方纳诺半导体下一步计划是什么？

纳诺半导体创始人朱俊博士表示，从自身技术积累优势和商业的考量上，纳诺团队认为图形晶圆暗场的技术难度高于无图形暗场缺陷检测技术，有利于建立技术壁垒。同时，两者间的市场广度接近。纳诺完成DF70产品验证后，快速实现对无图形暗场缺陷检测市场的覆盖。另一方面，明场检测与暗场检测两者在照明和采集光路技术路线方面的差别很大，且LSP光源技术、和DUV宽光谱物镜技术、TDI CCD技术均被KLA垄断，这些需要团队做好长期规划和打算。

投资方水木创投这次投资理由是什么？

水木创投投资总监昌锋先生指出，一直以来，水木创投聚焦硬科技项目的早期投资与科技成果转化等赛道，着眼于突破核心卡脖子技术，目前已经孵化出了多家上市公司和独角兽企业，并布局半导体产业链。随着工艺的先进化发展，半导体量检测设备的重要性变得尤为突出。纳诺半导体团队敢于攀登技术高峰，立足先进图形晶圆缺陷检测设备的研发和供应链国产化，其发展速度给水木创投留下深刻的印象。期待纳诺半导体不断前进，为中国半导体产业发展贡献更大力量。

平台方商道创投网对本次融资事件作何评价？

硬科技领域是投融界主要的部署赛道，纳诺半导体团队凭借丰富的研发背景和研发经验，用国内稀缺性技术，实现国产化替代，占据大市场份额，成功脱颖而出，被多家知名投资机构看好。　

作者：韩冉

时间：2023年9月6日

版权：商道创投网平台

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