洁净度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净车间质量的核心标准，该标准根据区域环境、洁净程度等因素，分为若干等级，常用的有 标准和国内区域行业标准。

　　ISO14644-1 标准—空气洁净度等级划分

空气洁净度等级(N)

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1.0um

5.0um

ISO Class1

10

2

ISO Class2

100

24

10

4

ISO Class3

1,000

237

102

35

8

ISO Class4

10,000

2,370

1,020

352

83

ISO Class5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

ISO Class6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

ISO Class7

352,000

83,200

2,930

ISO Class8

3,520,000

832,000

29,300

ISO Class9

35,200,000

8,320,000

293,000

注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平

　　GB50073-2013国家标准—空气洁净度等级

空气洁净度等级(N)

大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m³)

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

10

2

2

100

24

10

4

3

1000

237

102

35

8

4（十级）

10000

2370

1020

352

83

5（百级）

100000

23700

10200

3520

832

29

6（千级）

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7（万级）

352000

83200

2930

8（十万级）

3520000

832000

29300

9（一百万级）

35200000

8320000

293000

　　中国GMP（2010年修订）

　　新版GMP洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下:

洁净度级别

悬浮粒子数最大允许数/m3

静态

动态

0.5um

5.0um

0.5um

5.0um

A级

3520

20

3520

20

B级

3520

29

352000

2900

C级

352000

2900

3520000

29000

D级

3520000

29000

不作规定

不作规定

　　各国洁净度等级近似对照表

个 / M ≥0.5um

ISO14644-1(1999)

US209E(1992)

US209D(1988)

EECcGMP(1989)

FRANCE AFNOR(1981)

GERMANY VDI 2083

JAPAN JAOA(1989)

1

-

-

-

-

-

-

-

3.5

2

-

-

-

-

0

2

10.0

-

M1

-

-

-

-

-

35.3

3

M1.5

1

-

-

1

3

100

-

M2

-

-

-

-

-

353

4

M2.5

10

-

-

2

4

1,000

-

M3

-

-

-

-

-

3,530

5

M3.5

100

A+B

4,000

3

5

10,000

-

M4

-

-

-

-

-

35,300

6

M4.5

1,000

1,000

-

4

6

100,000

-

M5

-

-

-

-

-

353,000

7

M5.5

10,000

C

400,000

5

7

1,000,000

-

M6

-

-

-

-

-

3,530,000

8

M6.5

100,000

D

4,000,000

6

8

10,000,000

-

M7

-

-

-

-

-

　　二、洁净车间（洁净室）等级说明

　　等级定义的模式如下：

　　ClassX(atYμm)

　　其中X是无尘室的等级，例如100或10000等等，Y是粒径如0.2μm,0.5μm等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争，以下是几个例子：

　　Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)

　　Class100(0.2μm,0.5μm)

　　Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)

　　在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，10000....)，一般看一个粒径即可。在ClassesLessthan100(M3.5)(Class10，1....)，一般要看多几个粒径。

　　第二个技巧是规定无尘室的状态，例如：

　　ClassX(atYμm)，At-rest

　　供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。

　　第三个技巧是自订微粒浓度上限，一般在As-built时无尘室都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如：

　　Class10000(0.3μm

　　Class10000(0.5μm

　　这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时，依然有足够的微粒控制能力。