ICP-OES 广泛地用于矿产过程开发、产品控制以及岩石分析。

大量的矿场使用 ICP-OES 来确认其开采出来的矿石的纯度，例如锰矿、镍矿或者贵重金属矿。因为目前矿场资源不断减少，所以在废旧金属以及电子垃圾中的贵重金属的开发就比较活跃。针对这方面，ICP-OES 能够用于评价废弃物种的金属的总量以及提炼出来的物质中的纯度。事实上，出于经济方面的考虑，ICP-OES 正被越来越广泛地应用于稀土元素分析，例如对稀土产品的全程监控，因为这些元素价格变得越来越贵。

图.10: 20 g/L CeO2中La2O3的分析，波长：333.749 nm，样品（绿色谱线），标准加入1（20ppm—蓝色谱线），和标准加入2（40ppm—红色谱线），狭缝组合：10/15 μm

地质样品和矿物质，特别是稀土元素的分析对于 ICP-OES 仪器的要求很高。例如对于最终产品纯度的确认，ICP-OES要能够测试高固含量的样品，而且，由于稀土元素的谱线非常复杂，特别容易出现光谱干扰，所以要求 ICP-OES 要有高的光谱分辨率，只有高的光谱分辨率，才能将这些谱线分开，从而进行主量到微量乃至痕量元素的分析。

图.11: 20 g/L Gd2O3中Lu2O3的分析，波长：261.542 nm，样品（红色谱线），标准加入1（5ppm—蓝色谱线），和标准加入2（10ppm—绿色谱线），狭缝组合：10/15 μm