蒸馏水:通过蒸馏冷凝制得的水所以里面的无机盐会含的很少.如果只是经过一次蒸馏得到的水里面虽然那些不挥发的组分（盐类）被除去但水中挥发的组分（氨、二氧化碳、有机物）还是会进入蒸馏水中.

双蒸水:两次蒸馏

三蒸水:三次蒸馏

超纯水:超纯水又称高纯水，是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水，。超纯水的含盐量在0. 1mg/L以下,电导率小于0. 1μs/cm。常见纯化仪器:NANOpure或Milli-Q

去离子水:应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。 从自来水到去离子水一般要经过几步处理 先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质再分别依次通过阴阳离子交换柱去除离子 然后加压通过反渗透膜 zui后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物 假如此时电阻率还没有达到要求的话 可以再进行一次离子交换和反渗透过程 而蒸馏水只是先气化再冷凝 纯度一般不如去离子水 实际半导体工业中用的大多数是去离子水.

无菌水:通常是通过高温蒸汽法,UHT热法,化学法,臭氧方法和物理过滤法将水中微生物杀死或过滤掉而得到的水,水中的无机盐等一般来说不会减少.