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418

作者：

苑伟政，任森，邓进军，乔大勇

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摘要：

硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高,长期稳定性最好的压力传感器之一,是航空航天,工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择.系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果,简单介绍硅微机械谐振压力传感器的分类及工作原理,针对压力敏感膜片与谐振器复合结构和振动膜结构两种主要的芯体结构形式,详细论述硅微机械谐振压力传感器的研究历史,主要研究机构,国内外发展现状以及最新的研究成果,重点根据不同激励与检测方式对各种硅微机械谐振压力传感器的芯体结构进行深入分析比较.在此基础上,总结归纳不同芯体结构及其激励与检测方式的特点,并对硅微机械谐振压力传感器的未来发展趋势进行展望.

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关键词：

微机械；谐振；压力传感器；谐振器；激励；检测

DOI：

10.3901/JME.2013.20.002

被引量：

27

年份：

2013