电阻

值。简称⽅阻，理想情况下它等于该材料的

电阻率

除以厚度。

⽬录

⽅块电阻概述⽅块电阻特征⽅块电阻测试⽅法

⽅块电阻概述

  假设电流流经⼀个⼆维⽅块，定义等长宽的⼀个横⾯微元，电流流经⽅向上的偏压与电流

⼤⼩（载流⼦

N

和所带电荷⼤⼩

Q

的函数）⽐值就是⽅块

电阻

，⽅块

电阻

对厚度积分可以得到

电

阻率

，⽅块

电阻

只与材质有关。⼴义上将其抽象为⼀个静电场的半球，对电场半径求得微元

电

阻

的⼤⼩也叫⽅块

电阻

。

⽅块电阻特征

  ⽅块

电阻

有⼀个特性，即任意⼤⼩的正⽅形边到边的

电阻

都是⼀样的，不管边长是

1m

还是

0.1m

，它们的⽅阻都是⼀样，这样⽅阻仅与导电膜的厚度和

电阻率

有关。⽅块

电阻

计算公式：

R=

ρ

L/S 

，

ρ

为物质的

电阻率

，单位为欧姆⽶

(

Ω

. m)

，

L

为长度，单位为⽶

(m)

，

S

为截⾯积，单位

为平⽅⽶（

m2

），长宽相等时，

R=

ρ

/h 

，

h

为薄膜厚度。材料的⽅阻越⼤，器件的本征

电阻

越

⼤，从⽽损耗越⼤。

  ⽤于离⼦注⼊或导电薄膜的⼯艺监控，主要关⼼⽅块

电阻

绝对值与均匀性，离⼦注⼊⽅

块

电阻

反映剂量，导电薄膜⽅块

电阻

反映厚度，⽅块

电阻

是电路设计⼈员和⼯艺操作⼈员的⼀

个接⼝。电路设计⼈员可以根据⼯艺库把实际的

电阻

值转换成⽅块

电阻

，⽽⼯艺操作⼈员可以

根据⽅块

电阻

确定实际的

电阻

值。对于薄膜

:

厚度越⼤

,

电阻

越⼩

.

厚度越⼩

,

电阻

越⼤。

⽅块电阻测试⽅法

1

、探头法测试原理图

  下图是电流平⾏经过

ITO 

膜层的情形，其中：

d 

为膜厚，

I 

为电流，