半导体物理和半导体器件学习总结2

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半导体物理和半导体器件学习总结2

2023-10-17 00:54| 来源: 网络整理| 查看: 265

决定把剩下的内容分成三部分,一是载流子统计分布,二是pn结和三极管,三是金半接触和mos管原理

今天整理一下载流子统计分布。

 

一、状态密度的概念

 

在导带和价带中,实际上是无数个能级。因为间隔很小所以看作是连续的。

假设在单位能量变化中,有dZ个量子态,则状态密度为g(E)=dZ/dE,即单位能量间隔的量子状态数。

 

求法:先求出k空间的量子态数,即k空间的量子状态密度,然后算出k空间中dE对应的k空间体积。两者相乘就得到了状态密度。

这里又一次出现了k空间,还是不太明白orz。。。

 

通过分析,k空间的状态是均匀分布的。然后根据E-k关系,此处是带底的E-k关系。得到E和E+dE的等能面对应的k和k+dk,求出体积差,就得到了dE对应的k空间体积。

这个体积乘以k空间状态密度,就得到了dE的状态密度。

 

最后的结果表明,状态密度与能量的开方 成正比。

 

然而在实际的分析中,比如硅,锗,等能面是旋转椭球面,情况分析更为复杂,先略了,其实是不会。

状态密度这个概念最难的地方还是k空间和等能面的理解,需要很好的物理基础。。。

 

2、费米分布函数

 

电子虽然有不同的状态,分布于不同的能级,且在不断变化,但是宏观来看,电子在不同能量的量子态上的统计分布概率是一定的。

根据量子统计理论,服从泡利不相容原理的电子遵循费米统计律。即能量为E的一个量子态被一个电子占据的概率为f(E)。

 

式中出现了Ef称为费米能级,它与温度,导电类型,杂质含量,以及能量零点的选取有关。它是一个重要的物理参数,只要知道费米能级,在一定温度下电子在各个量子态的统计分布就确定了。

 

更多的内容涉及就到热力学和统计物理了,实在是没学好,等过几天复习吧。

 

一般可以认为,温度不是很高时,能量大于费米能级的量子态几乎没有电子占据,能量小于费米能级的量子态基本填满。费米能级标志了电子填充能级的水平。

 

 

3、玻尔兹曼分布函数

 

适用于E比Ef明显大的时候,分布表达式分母略去了1。

费米统计律和玻尔兹曼统计律的主要差别在于,前者收到泡利不相容原理的限制。

而在E很大时,泡利原理失去作用,因而两种统计的结果变成一样的了。

 

在半导体中,最常遇见的情况是,费米能级Ef在禁带中,且与导带底和价带顶的距离远大于kT。于是半导体中的电子分布可以用电子的玻尔兹曼分布函数描写。

 

通常把服从玻尔兹曼统计律的电子系统称为非简并系统,服从费米分布律的电子系统称为简并系统。

 

 

4、半导体中的载流子浓度的计算

 

继续状态密度的讨论,电子浓度等于状态密度 乘以 电子占据能级的概率。

即g(E)f(E)

通过积分,可以得到结果。具体的式子就不记了。

 

同时还可以发现,np相乘可以得到一个定值,这个值与费米能级无关,只取决于温度和禁带宽度。这个结果对于热平衡下的非简并半导体,不管是杂质半导体还是本征半导体,都适用。

另一方面,只要知道费米能级,n,p浓度都可以算出。

 

 

5、本征半导体的载流子浓度

 

实际上也就是求本征半导体的费米能级。

之前求出了半导体的n、p浓度表达式,利用本征半导体的条件:n=p,可以解出Ef。值得注意的是,本征半导体的费米能级并不一定在禁带中线位置,原因是电子和空穴的有效质量并不严格相等。

求出Ef后,就可以得到载流子浓度。

 

但在应用中都是用掺杂半导体,几乎不用本征半导体。

 

6、杂质半导体

 

杂质能级被占据的概率与能带中的能级被占据的概率是有区别的。能带中的能级可以容纳自旋方向相反的两个电子,而对于施主杂质能级,无法接受两个自旋方向相反的电子。

概率表达式有其他形式。杂质能级和费米能级的相对位置,决定了杂质的电离程度。

 

此时利用电中性条件,比如n型半导体中,电子浓度等于电离杂质浓度加空穴浓度,得到方程。

但是此时Ef的解析表达式很难得出,需要在不同条件下进行近似讨论。

①低温弱电离区:少量电离,可以看做导带的电子全部是电离得来的,空穴近似为0。列出方程即可

结果发现费米能级在0k时在中线处,随着温度升高,费米能级上升,然后到达极值,然后开始下降

②中间电离区:此时Ef下降到中线处,施主有1/3电离

③强电离区:此时大部分杂质都电离,且电子主要是电离产生。

室温下,硅在10^11-10^17范围内的磷掺杂,可以认为是完全电离的

④过渡区:即饱和区和本征激发区之间的状态

⑤高温本征激发区,n=p

 

此过程中的费米能级变化规律略了。

 

一般情况下,我们会利用电中性条件求出费米能级,然后得到n和p

各个情况下的解太繁琐了,不列举了,用到再说。。。

 

7、简并半导体

 

即杂质浓度过高时,费米能级也会很高,当高到进入导带时的情况。

此时说明掺杂很大,且导带底附近能级基本被填满。此时必须考虑泡利不相容原理的作用,不能用玻尔兹曼分布,而必须用费米统计分布。

此时的半导体称为简并半导体,它的性质和非简并半导体是很不同的。

 

此时计算载流子浓度时,积分会很难,用到了费米积分。

 

具体好像没见过什么应用。

后面还有低温载流子冻析效应、禁带宽度变窄效应、分布函数的推导等等,先不看了,复习了热力学再看。

 

 

8、载流子的漂移运动

 

涉及到很多概念:

电阻率,电导率,电流密度,漂移速度,迁移率

需要注意的是,半导体中有两个导电机构,计算电流密度或电导率,都是两项。

 

 

9、载流子的散射

也是一下概念:平均自由程,散射,平均自由时间,

 

比较难的地方就是半导体的散射机构,半导体遭到散射的根本原因是周期性势场被破坏。

进一步,产生附加势场的原因有①电离杂质散射②晶格振动散射③其他因素引起的散射

①与杂质浓度和温度有关。杂质浓度越大,散射概率越大,温度越高,散射概率越小

②这部分真的不会,固体物理再看吧。。。

③这个也说不明白。。。

 

 

10、杂质浓度对迁移率、电阻率的影响

 

首先是平均自由时间和散射概率的关系,一个微分方程可以解决。这里和概率论的那个指数分布好像意思是一样的,可以适用于很多模型。

迁移率和平均自由时间成正比。值得注意的是,由于旋转椭球面的各个方向有效质量不等,所以还需要额外的考虑,这里我还是不太懂,再说吧。。。

 

迁移率随温度变化规律略了,书上有原理有图像

多子和少子的迁移率也会有不同,但少子迁移率会更大。机理略过

 

电阻率随温度变化有两个拐点,一个是因为杂质完全电离,升高温度不会再增加浓度,反而减小迁移率,增大电阻率;二是因为温度进一步上升,进入本征激发区,载流子浓度又升高,电阻率又降低。

 

 

11、再后面的效应就比较复杂了,涉及到玻尔兹曼方程,弛豫时间近似什么的。。。不看了先,但一定会回来看的!!

 

12、非平衡载流子

 

非平衡载流子的寿命仍然用到了指数分布模型。。。

通常寿命是实验测定的,常用的是光注入和电注入,然后测电导率的变化。

 

准费米能级:这个改概念看似比较好理解,但是细想,可能理解难度还是很大,比如外界条件改变,对费米分布的影响是什么?为什么没有改变它的形式?可能需要固体物理和热力学复习完才能懂。。。

 

13、复合理论

 

平衡的本质是复合和产生的动态平衡。

复合大概有两种:直接复合,间接复合

复合时,放出能量的方式有三种:发射光子,发射声子,传递给其他载流子

 

直接复合和间接复合的过程略了,有点繁琐,遇到再说。值得注意的是,间接复合的平衡条件,一个是禁带能级的载流子浓度不变,一个是导带禁带载流子浓度不变。

 

浅能级一般不具有有效复合中心的作用,深能级可以,比如金,控制金的浓度,可以改变少数载流子寿命。

 

表面复合也很重要,表面复合速度很高时,会明显影响载流子寿命,进而影响器件性能。大多数我们希望良好稳定的界面,复合速度很低。。

但是考的不多应该。。。

位错等缺陷也会影响寿命,成为复合中心。由此,寿命可以作为晶格完整性的判据。

 

俄歇复合略了,在窄禁带半导体中和高温情况中有重要作用。

 

14、陷阱效应

 

陷阱效应 在实质上是指 杂质能级能够积累非平衡载流子的作用,也就是说,所有杂质能级实质上都有一定的陷阱效应。

但我们只关心那些 有显著积累非平衡载流子作用 的杂质能级。

 

具体的分析先略过了,用到再看。。。

 

15、载流子的扩散

 

扩散方程不说了,数学物理方法学的。

边界条件我们主要遇到的是两种:①样品足够厚,无穷远处为0,此时只有衰减项;②样品厚度一定,但有持续的输出流,此时得到双曲函数的结果,进一步还能简化为一次函数。

 

还有就是提到了探针接触:结果得出探针接触的扩散效率比平面时高,原因在于,球对称情况下,径向运动本身就造成了载流子的疏散,增大了浓度梯度,增强了扩散。

 

 

16、爱因斯坦关系

 

即扩散系数和迁移率的定量关系。

 

这里的关键是要理解,半导体内的电场与半导体内的电势变化是一致的,在费米能级不变时,电势变化又与浓度有关,于是电场与浓度梯度也就有了关联,扩散系数和迁移率的关系就可以得出。

他表明了非简并状态下,载流子扩散系数和迁移率的关系。

 

17、连续性方程

 

即半导体少数载流子遵循的运动方程。一维下,单位体积的少子随时间变化率为,扩散和漂移和复合的和。

具体讨论时,有些不重要的项可以舍去。



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