美国 Neocera 脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition)是一种用途广泛的薄膜沉积技术,经过深入研究获得最佳薄膜质量的临界参数,特别适用于沉积复杂氧化物薄膜。 |
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名称:脉冲激光沉积系统 品牌:Neocera 产地:美国 型号:Pioneer 180 PLD System
Neocera Pioneer 系列 PLD 系统— 基于卓越经验的创新设计Neocera 利用PLD 开展了深入广泛的研究,建立了获得薄膜质量的临界参数,特别适用于沉积复杂氧化物薄膜。这些思考已经应用于Pioneer 系统的设计之中。• 很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧压(>100 Torr)下冷却可获得更高的质量。所有Pioneer 系统都具备此功能(压力范围可从额定初始压强到大气压)。这也有益于纳米粒子的生成。• Pioneer PLD 系统的激光束入射角为45°,保持了激光密度在靶材上的最大均匀性,同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。更大的入射角能够拉长靶材上的激光斑点,导致密度均匀性的损失。• 为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵,消除油的回流对薄膜质量的影响,所有Pioneer 系统的标准配置都采用无油泵系统。• 我们的研究表明靶和基片的距离是获得薄膜质量的关键参数。Pioneer 系统可以控制靶材和基片的距离,以达到最优的沉积条件。 |
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