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72

作者：

刘恩峰

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摘要：

该论文的研究涉及全HD模型,数值方法,量子修正项的嵌入,HD模型的验证以及超深亚微米器件的模拟,为超深亚微米半导体器件的研究提供了CAD工具.全HD的意义是在载流子的平均能量中包含动能项,因为在一般情况下,动能项被忽略了;但是由于在小尺寸半导体器件载流子的平均速度很高,动能项已经与热能项处于同一个数量级,所以我们在模拟中考虑了动能项的影响.我们的模拟平台是以全HD模型为基础的.因为全HD模型包含更多物理效应,物理意义明确.另外,由于器件结构的复杂性,二维的模拟比一维的模拟包含更多面向对象的技术,具有代码维护方便,可扩展性好,支持...

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关键词：

流体力学模型 漂移扩散模型 玻尔兹曼方程 离散化 初始猜值 量子修正

学位级别：

博士

学位年度：

2002