表1. D07-7B 型MFC性能指标

编号

项     目

D07-7B  型

1

流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

( 0~1,2,3,5,10)                    SLM

2

准确度

±1.5  % F.S

3

线性    

±1  % F.S

4

重复精度 

±0.2  %F.S

5

响应时间

电特性:      10   sec  气特性:  ≤ 4  sec

6

工作压差范围

(0.1  ~ 0.5)  MPa

7

耐压

3  MPa

8

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

9

输入输出信号

0  V ~ +5.00 V

(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

10

电源

+15  V   50 mA

-15V   200 mA

11

外形尺寸

见图4

12

重量

1.1  kg

注意:                                                                       

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为:  SCCM  (标准毫升/分);

　　　　　　　　　　　　SLM    (标准升/分)

标准状态规定为:           温度 ---  273.15K  ( 0℃);

                          气压 ―  101325 Pa (760mm Hg)

F.S. (FullScale):     满量程值