机械臂机构应用提案

2024-06-30 16:08| 来源: 网络整理| 查看: 265

机械臂升降 – DRS2系列兼顾高精度、小型化与大可搬运质量 通过组合高精度的αSTEP AZ系列和滚珠螺杆，在机械臂升降工位上提供高精度定位的DRS2系列小型电动缸方案，与自行组装的机构相比，装置全长缩短、更紧凑。

小型电动缸 DRS2系列适用于微小移动量·高精度定位中空转子和滚珠螺杆螺母一体化的紧小型机体，可实现装置的高精度定位与小型化。不需要连接部件，减少因联轴器等连结部件而产生的精度影响，实现更高精度的定位。 ●驱动螺杆分为研磨滚珠螺杆和滚轧滚珠螺杆2种【最小移动量】0.001mm 【反复定位精度】研磨滚珠螺杆：±0.003mm　滚轧滚珠螺杆：±0.01mm

减少连结部件，实现省空间化将工作物移动相同冲程量时的两种构成范例，以下为构成部件数的比较。

应用：半导体制程设备（晶圆Pin针顶升机构） （▶点此查看详细介绍）设备空间小型化要求加剧，面向多层化、多腔体的半导体制程相关设计，DRS2系列小型电动缸充分发挥降低高度方面的小型化应用优势。 *图示仅供示意参考，需外置导轨设计。

垂直可搬运质量以下为各规格可垂直搬运的负载质量，实际选用请结合机构负载设计及驱动条件综合选型计算，可进一步洽询东方马达。（▶点此查看各销售点联络方式）

应用：半导体制程（晶圆清洗设备）设备（▶点此查看详细介绍） 机械臂的升降设计采用小型电动缸驱动，无需过多的配件设置，搭载机械式绝对编码器应用，整体设计更简洁、紧凑。断电时保护的带电磁制动

电源OFF时，保持停止位置。带电磁制动规格的采用，即使垂直安装，也不必担心维护作业中机械臂掉落。

注意：本资料仅供参考。选购前请仔细确认设备需求和产品规格。如需帮助，请洽询本公司客户咨询中心（电话：400-820-6516）。机械臂转动机械臂升降末端执行器转动末端执行器

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