申请/专利权人：北京凯世通半导体有限公司;上海凯世通半导体股份有限公司

申请日：2022-12-31

公开（公告）日：2023-04-25

公开（公告）号：CN116013751A

主分类号：H01J37/08

分类号：H01J37/08;H01J37/317;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2023.04.25#公开

摘要：本发明提供一种离子喷枪的绝缘结构，所述离子喷枪的绝缘结构适用于离子喷枪，离子喷枪有两个独立相同的弧腔，分别是上弧腔和下弧腔；两个矩形喷口结构的相对上下排列，两个矩形喷口结构覆盖在上弧腔和下弧腔上；上弧腔和下弧腔独立产生等离子体，吸附在束流周围，中和晶圆表面的电荷；两个矩形喷口结构的每个的两个小孔上下排列，安装在离子喷枪弧腔上，两个小孔之间距离16mm。本发明离子喷枪的绝缘结构，设计成本低，维护成本低，增加绝缘子对其起到了支撑作用，能够解决其变形程度导致短路，使用寿命大大提高，节约维护成本。

主权项：1.一种离子喷枪的绝缘结构，其特征在于，所述离子喷枪的绝缘结构适用于离子喷枪，所述离子喷枪包括基座部分、起弧腔以及线路连接部分；其中，基座部分用于承载起弧腔以及各种线路以及气管；起弧腔内有灯丝，灯丝通电被加热后就会发射电子,由于起弧腔内存有一定浓度的氙气气体粒子，灯丝发射的电子就会撞击氙气气体粒子,使氙气气体粒子外层的电子脱离原来的运行轨道成为自由电子，而氙气气体粒子则变成带正电的离子；灯丝电源通过电源线给上下两个起弧腔内的灯丝供电，灯丝通电后产生灯丝电子，轰击起弧腔内的氙气，故而起弧形成等离子体；线路连接部分用于输送电压以及所用氙气。

全文数据：

权利要求：

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