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2023-12-15 05:47| 来源: 网络整理| 查看: 265

校准器

新型Aligner "SAL3000HV 系列" (全自动对应版本)

SAL3482HV (不受晶圆材质)晶圆校准器产品视频使用环境和规格/规格产品概要产品型号SAL3482HV 使用环境洁净间内的大气环境晶圆尺寸100-200 mm 被搬运物透明, 半透明, 硅片晶圆照片为 SAL38C3HV 视频为全自动调整功能软件 "JEL ALIGN TOOL". 产品特点

2016年12月14日之后出厂的Aligner "SAL3000HV 系列" 产品都会配备具有全自动调整功能的 JEL ALIGN TOOL 软件。大幅度缩减客户的时间成本。 *详细情报新型Aligner "SAL3000HV 系列" (全自动对应版本)(*). (*)本工具软件调整后的定位精度需要确认，所以对于调整后精度，需要在客户现场设备上进行确认。

适用于100-200 mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner

可适用于硅片，带BG胶带（乳白色）的硅片，透明，半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准使用自主研发的图像识别传感器，采用了控制器和电机驱动器集成到设备本体内部的一体化设计可以根据晶圆尺寸，材质更改Spindle的直径，形状和材质可以使用伯努利吸附方式控制方式：串口RS232C或者并口光学I/O口不符合SEMI规格的缺口，缺边形状也可以提供定制设计能够为Spindle增加Z轴以满足对晶圆进行升降的需求晶圆重新拿起的动作对Z轴进行选择设定标准规格被搬运物 SEMI规格 100-200 mm晶圆(透明, 半透明, 硅片晶圆) (其他可根据特殊晶圆的形状，材质为客户提供灵活的定制设计) 位置确定所需时间定位晶圆中心：3 sec（不包括晶圆的取放时间）位置精度晶圆中心：±0.1 mm以内晶圆缺边（缺口）：±0.1度以内传感器 LED灯照明+图像识别传感器的方式对晶圆边缘进行检测晶圆尺寸切换命令控制方式或者通信方式洁净度 ISO标准 Class 2(驱动结构内部独立排气条件下) 动力 3轴使用2相步进电机，电机控制器和脉冲发生器安装在本体内部厂务电源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上外观图

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