借助选配的模块化装置，可以将高达105mm的样品固定在载物台上。由于改进了聚焦机制，显微镜可承托高达6 kg的总重量（样品 + 载物台）。这意味着可以在BX53M上检查更大和更重的样品，从而减少实验室所需的显微镜。通过战略性地将6英寸晶圆的可旋转托架定位在偏离中心的位置，在100毫米行程范围内移动时，用户只需旋转托架即可观察整个晶圆表面。经过优化的载物台扭矩调整易于使用，借助舒适的手柄，能够轻松找到样品的感兴趣区域。