扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束来观察样品表面微观结构的仪器。能谱分析（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy，EDS）是一种在扫描电子显微镜中常用的技术，用于分析样品中的元素成分。

以下是扫描电子显微镜中的EDS原理：

电子束与样品相互作用： 扫描电子显微镜通过发射高能电子束来照射样品表面。这些高能电子与样品原子相互作用，导致样品中的原子内部电子被激发或者排除，从而产生X射线。

X射线的发射： 当电子束照射到样品表面时，样品中的原子会被激发，电子从内层轨道跃迁到外层轨道。当这些外层轨道上的电子填补内层轨道上被激发的空位时，会释放出X射线。

X射线的能量： 不同元素的原子结构是不同的，因此它们的X射线能量也是特定的。通过测量和分析X射线的能谱，可以确定样品中存在的元素。

能谱分析： EDS系统通过使用能量分辨率高的X射线探测器来测量X射线的能量。这些X射线能量被转换成电荷脉冲，并通过电子学系统进行放大和数字化处理。

元素识别： 通过比较测得的X射线能谱与已知元素的标准能谱，可以确定样品中存在的元素及其相对含量。

实验室配备EDS硬件，可以提供三种电子束扫描模式：面扫，线扫和点扫。通过这三种扫描方式可以直观的看到元素的分布，元素含量变化曲线和元素含量。

面扫

选择样品的某块区域，在样品表面移动电子束进行往返扫描。每采集一个点的特征X射线光子，就会在显示器对应位置上打一个亮点，这些亮点就是对元素的映射（EDS mapping）。当特征X射线的强度用亮度表示时，mapping中越亮的地方元素含量越高，测得的元素含量是面范围内的平均值。由于面扫的空间分辨率有限，所以定量不够准确，特别是对原子序数低的轻元素而言，定量会有较大的误差，因此EDS是一种定性半定量的工具。面扫范围较大，并且可以检测出一些元素的微小变化，结合形貌照片可以直观看出样品某个区域的元素分布。

线扫

电子束沿样品表面的一条线上逐点进行扫描，可以得到元素在这条线上含量变化的分布曲线。线扫可以确定样品中不同区域的元素相对含量，并且可以提供比面扫更高的空间分辨率。线扫适用于对样品表面的特定区域进行分析，例如沿晶界，颗粒边界或组织界面进行分析。

点扫

点扫可以分析样品表面特定的极小区域。选择感兴趣的某一点，将电子束固定在此点进行分析，得到X射线能谱，即可确认这个点上的所有元素。点扫可以提供最高的空间分辨率，这时候点扫是最合适的方式。点扫常用于粒子分析，颗粒内部分析等。

三种扫描方式都各具特点和长处，有其适用的情况，各位可以需要根据样品特点及自己的分析需求，与铄思百实验室的工程师一起讨论，得出并选择最合适您的分析方法。

测试注意事项：

a)一般选择较大的块体在5000倍以下检测，块体太小或者倍数过大，都会造成背景严重，测量准确度下降；

b)选择样品比较平整的区域检测，若电子打在坑坑洼洼的样品表面，X射线出射深度差别较大，定量信息不够准确。

C）电子束与轻元素相互作用区域较大，干扰更强，定量结果可能偏差较大。

如果需要了解更多扫描电镜测试相关内容，可以联系武汉铄思百检测(www.sousepad.com)。

铄思百检测作为华中地区领先的第三方权威机构，与武汉众多高校及其分析测试中心有交流合作。包括SEM测试在内，TEM测试，BET测试，TG测试，DSC测试等都有丰富的经验，欢迎联系送样测试！检测咨询热线：15071040697    黄工QQ：82187958