高低温真空晶圆测试探针台厂家 |
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CINDBEST CGO-4 | 2"~6" 高低温真空探针台测试系统 特点/应用
◆ 2至6英寸样品台
◆ 高真空腔体
◆ 防辐射屏设计,样品温度均匀性更好
◆ 77K-675K高低温环境
◆ 兼容IV/CV/RF测试
◆ 外置多探针臂,移动行程大
◆ 经济实用,可无缝升级
极低温测试: 因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试: 当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
◆ 腔体规格: 型号 CGO-2/CGO-4/CGO-6 样品台尺寸 2英寸/4英寸/6英寸 样品固定 弹簧压片 观察窗口 2英寸/4英寸/6英寸 真空度 10-6torr 探针臂接口 4~6个探针臂接口 其他接口 电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口 制冷方式 液氮/液氦/制冷机 温度范围 77K到573K/4.5K到573K 温控精度 0.1K/0.01K/0.001K 稳定性 ±1K/±0.1K/±0.01K 外形 880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高 重量 约100千克/120千克
◆ 光学系统: 显微镜类型 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 放大倍率 16X-200X/20X-4000X 移动行程 水平360度旋转,Z轴行程50.8mm 光源 外置LED环形光源/同轴光源 CCD 200万像素/500万像素/1200万像素
◆ 探针臂: X-Y-Z移动行程 50mm*50mm*50mm 结构 外置探针臂,真空波纹管结构 移动精度 10微米/1微米 线缆 同轴线/三轴线/射频线 漏电精度 10pA/100fA/10fA 固定探针 弹簧固定/管状固定 接头类型 BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子 频率支持 DC-67GHZ 针尖直径 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
◆ 其他组件:
真空组件 分子泵组/机械泵/离子泵 冷源组件 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机
◆ 可选附件 超高温配件 显示器 转接头 射频测试配件 屏蔽箱 光学平台 镀金卡盘 光电测试配件 高压测试配件 分子泵组 激光系统 气敏测试配件
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