什么是真空阀？

真空阀是一个安装在真空系统的供气或排气管道中的装置。它通常用于隔离真空区域，如工艺室，或控制进入和排出的气体量。真空阀可以手动、气动、电子气动、电动或电磁方式操作。真空阀是任何真空系统的一个组成部分，真空系统被广泛用于各种工业生产应用中。

什么是高性能真空阀？

某些真空工艺对工艺环境的纯度以及化学和物理稳定性有特别高的要求。例如，这适用于几乎所有的半导体生产领域，以及许多使用真空系统的研究设施。在基础研究领域，处理极端条件的能力，如非常高或低的温度、强辐射和压力高达10-15mbar的极高真空（XHV）--目前技术上可行和可测量的极限--常常被添加到这些要求中。

这些应用中的真空阀在以下方面与标准真空阀不同:

真空阀的类型有哪些？

真空阀和其他阀门一样，使用一些基本的力学原理，如闸阀、挡板盘或旋转盘来分离或隔离真空区域并控制体积流量。然而，使用这些力学原理的基本条件是完全不同的。例如，高自由度的颗粒、精确控制非常小的体积流动、密封、最小的振动和冲击是至关重要的特性。因此，这些基本的机械装置通常为真空阀设计得不同。例如，关闭机构通常被设计为无摩擦地关闭，并引起最小的振动和冲击，如果有的话。此外，控制运动可以是极其精细的剂量，密封被优化，以便在理想情况下不释放任何颗粒，其静态或动态特性在长期使用中保持稳定。

使用的真空阀有以下基本类型:

除了这些基本类型，还有大量的混合变体，其中一些结合了不同的阀门技术或为某些特殊要求提供解决方案。

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