1.微机械陀螺仪的分类。

　　微机械陀螺仪可按材料、振动模式、驱动结构、检测方式和加工方式等进行分类。

　　1微机械陀螺仪按振动模态可分为角振动陀螺仪和线性振动陀螺仪。

　　角振动陀螺仪绕轴来回振动，线性振动陀螺仪沿着一条线来回振动。

　　2微机械陀螺仪按制造材料可分为硅陀螺仪和非硅陀螺仪。

　　非硅陀螺仪包括压电陶瓷陀螺仪和压电石英陀螺仪.压电陶瓷陀螺仪不采用微机械加工技术，但需要微光刻技术来保证陀螺仪的几何尺寸，这与微机械陀螺仪的尺寸相似。压电石英陀螺仪精度高，但生产工艺复杂，成本高。因此，硅陀螺仪是硅材料的发展方向，硅材料分为单晶硅材料和多晶硅材料。(3)微机械陀螺仪按驱动结构分为驱动结构和非驱动结构。

　　它分为静电、电磁和压电。该静电驱动陀螺仪是由施加在驱动电极上的静电力驱动产生电压变化。电磁驱动陀螺仪是在电场中施加由垂直于电场方向变化的电流对陀螺中质量块产生的力的驱动力。压电驱动陀螺仪是在陀螺的驱动电极上施加一个变化的电压。

　　无驱动结构陀螺仪的变形主要是以旋转体本身作为动力源，忽略了驱动装置，具有结构简单、成本低、可靠性高等优点。它是一种专门用于旋转物体的陀螺仪。根据加工方式的不同，将微机械陀螺仪分为块体加工微机械陀螺仪、表面加工陀螺仪和微电子工艺陀螺仪。块状加工技术和表面加工技术与微电子技术兼容，可与微电子电路集成，适用于大量微零件和微系统器件的低成本加工。

　　然而，可用的材料相对较少，可加工零件的尺寸范围较窄，可加工零件的形状也相对简单。复杂的结构和部件需要通过微电子等其他加工工艺来制造。根据检测方式，将微机械陀螺仪分为压电陀螺仪、压阻陀螺仪、电容陀螺仪和光学陀螺