どれくらい正確に平らな面であるべきかという「表面の凸凹さ」を指定する平面度を測定します。最も出っ張った部分と最もへこんだ部分が、上下に離れた2つの平面の間に挟まれた一定の距離になければなりません。

対象物を精密な平面テーブルの上に載せて固定し、ダイヤルゲージの測定部が測定面に触れるようにセットします。測定箇所が均一になるように対象物を動かし、ダイヤルゲージの値を読み取ります。それらの偏差の最大値が平面度になります。

対象物の動かし方によって測定ポイントが変わるため、測定値も変わる可能性があります。このため、安定した測定値を得ることが困難です。

4か所以上にスタイラスを当て、ポイント測定をすれば平面度を測定することができます。測定ポイントを増やすと、測定範囲が広い場合でも高精度かつ安定した測定が可能です。

キーエンス　ハンディプローブ三次元測定機での測定画面

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