原标题：MOCVD市场常见尾气处理技术分析

随着人民生活水平的逐渐提高和环境污染的日益严重，人们在追求清洁能源的同时对环境保护的意识也日益增强。LED作为节能环保产品在生产过程产生的环境污染也逐渐引起人们的重视。简单来说，用MOCVD生产兰绿光源产生的废气主要是氨气，而用MOCVD生产红黄光主要的废气是砷烷，磷烷。此外还有一些MO和氢气。MOCVD在其他一些应用上使用的也是以这些气体为主，在反应炉清洗时会用到氯气。

氨气是一种无色气体，有强烈的刺激性气味，同时具有腐蚀性，极易溶于水（常温常压下一体积水可以溶解700体积氨）。同时氨是食物和肥料的重要成分。砷烷是一种无色无味气体，比空气略重，微溶于水。在空气中氧化后会产生大蒜味。砷烷可燃，有剧毒，很容易致命。磷烷是一种无色无味剧毒气体，在空气中可以自燃。氢气无毒易燃，在4%-74%范围与空气混合时容易爆炸。挥发后的MO也易燃，且有毒，不慎吸入容易引起头痛、恶心、眩晕等症状。氯气具黄绿色、有强烈的刺激性的有毒气体。可溶于水，可以刺激人体呼吸道粘膜，引起胸部灼热、疼痛和咳嗽。严重的可以导致死亡。

根据这些特性，处理这些气体，一般无外乎湿法、加热燃烧和干法吸收。因为氨气极易溶解于水，且LED行业里面蓝绿光设备占主流，所以市场上MOCVD的尾气处理目前大部分都用的是湿法。主要存在的问题是虽然氨水可以作肥料，但是无序排放可能加重自然水源的富营养化，使自然水域中蓝藻、浮萍、水葫芦等植物泛滥成灾，造成生态危机。2007年太湖蓝藻暴发以后当地环保当局对于含氮废水的排放采取了非常严苛的规定，不少LED企业不得不寻求水洗以外的废气处理方法。其中之一就是催化后将NH3分解成N2和H2的技术。该技术理论上很好。缺点是能耗比较高，所以运行成本也会比较高。而且，N2会在一定程度上被氧化生成NOx。NOx积聚在空气中遇到雨雪天气会形成酸雨，对环境造成较大危害。

根据大部分气体可燃的特性，加热燃烧式的尾气处理也被作为可选项之一。燃烧式主要的优点是把氢气还有磷烷烧掉以后可以减少或避免自燃以及爆炸的风险。缺点主要是需要添加天然气增加运营成本、燃烧不一定充分、还有像砷元素的任何化合物都有毒，燃烧以后停留在空气中或者飘落在附近会对周围环境和人体健康产生严重负面影响，同时设备需要经常维护。

干法处理废气又可以大致分为两种：活性炭物理吸附和化学药剂固化吸收。活性碳物理吸附的成本相对较低。但是物理吸附遇上温度压力变化或者不安全运输时被吸附的有毒害气体可能会重新被释放。而且活性炭可燃，如果有单体磷析出，遇到空气起火燃烧的风险比较大。

使用化学药剂固化吸收可以说是最优雅最环保的废气处理方式。一般通过不可逆的化学反应将有毒有害气体固化吸收，生成稳定的无机盐，不消耗电、水、或者天然气等能源。占地小，停机维护时间短，甚至可以实现设备100%在线时间。设备的安装简单，除了更换药剂，几乎不需要维护，客户需要做的仅仅是用KF接口连上设备进气口和排气口。

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