OLS5100

2024-07-17 22:54| 来源: 网络整理| 查看: 265

主机规格型号 OLS5100-SAF OLS5100-SMF OLS5100-LAF OLS5100-EAF 综合倍率

54x ～ 17280x

视场

16 µm ～ 5,120 µm

测量原理光学系统反射型共聚焦激光扫描（激光）显微镜反射型共聚焦激光扫描（激光-DIC）显微镜彩色彩色-DIC 测量原理光接收元件激光：光电倍增管（2通道）彩色：CMOS彩色相机高度测量显示分辨率 0.5 nm 高度测量动态范围 16位高度测量可重复性σn-1*1 *2 *5 5X：0.45μm，10X：0.1μm，20X：0.03μm，50X：0.012μm，100X：0.012μm 高度测量准确度 *1 *3 *5 0.15 + L/100 μm（L：测量长度[μm]）高度测量拼接图像准确度 *1 *3 *5 10X：5.0+L/100 μm；20X或更高：1.0+L/100 μm（L：拼接长度[μm]）高度测量测量噪声（Sq噪声） *1 *4 *5 1 nm（典型值）宽度测量显示分辨率 1 nm 宽度测量可重复性3σn-1 *1 *2 *5

5X：0.4μm，10X：0.2μm，20X：0.05μm，50X：0.04μm，100X：0.02μm

宽度测量准确度 *1 *3 *5 测量值+/- 1.5% 宽度测量拼接图像准确度 *1 *3 *5 10X：24+0.5L μm；20X：15+0.5L μm；50X：9+0.5L μm；100X: 7+0.5L μm（L：拼接长度[mm]）单次测量时最大测量点数量

4096 × 4096像素

最大测量点数量

3600万像素

XY载物台配置长度测量模块 • 不适用不适用 • XY载物台配置工作范围

100 × 100 mm电动

100 × 100 mm 手动

300 × 300 mm 电动

100 × 100 mm 电动

最大样品高度

100 mm

40 mm

37 mm

210 mm

激光光源波长 405 nm 激光光源最大输出 0.95 mW 激光光源激光分类 2类（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014*6 彩色光源白光LED灯电气功率 240 W 240 W 278 W 240 W 质量显微镜主体约重31 kg 约重32 kg 约重50 kg 约重43 kg 质量控制盒约重12 kg

*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境中使用时可达到规格要求（温度：20℃±1℃，湿度：50％±10%）。 *2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜且放大倍率为20倍或更高时。 *3 在使用专用LEXT物镜测量时。 *4 在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值，可能与保证值不同。 *5 在Evident认证体系下有保证。 *6 OLS5100是2类激光产品。请勿盯着光束看。

** Evident提供的显微镜控制器已获得Window 10操作系统许可证。因此，Microsoft的许可条款适用，并且您要同意这些条款。请参阅以下Microsoft的许可条款。 https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm

物镜系列型号数值孔径（NA）工作距离（WD）（mm） UIS2物镜 MPLFLN2.5X 0.08 10.7 MPLFLN5X 0.15 20

专用LEXT物镜（10X）

MPLFLN10XLEXT 0.3 10.4

专用LEXT物镜（高分辨率）

MPLAPON20XLEXT 0.6 1 MPLAPON50XLEXT 0.95 0.35 MPLAPON100XLEXT 0.95 0.35

专用LEXT物镜（长工作距离型）

LMPLFLN20XLEXT 0.45 6.5 LMPLFLN50XLEXT 0.6 5.2 LMPLFLN100XLEXT 0.8 3.4 超长工作距离物镜 SLMPLN20X 0.25 25 SLMPLN50X 0.35 18 SLMPLN100X 0.6 7.6 长工作距离LCD物镜 LCPLFLN20XLCD 0.45 8.3-7.4 LCPLFLN50XLCD 0.7 3.0-2.2 LCPLFLN100XLCD 0.85 1.2-0.9 应用软件标准软件 OLS51-BSW 标准软件数据采集应用程序分析应用程序（简单分析）电动载物台软件包应用程序*1 OLS50-S-MSP 高级分析应用程序*2 OLS50-S-AA 薄膜厚度测量应用程序 OLS50-S-FT 自动边缘测量应用程序 OLS50-S-ED 颗粒分析应用程序 OLS50-S-PA 实验流辅助应用程序 OLS51-S-ETA 球体/圆柱体表面角度分析应用程序 OLS50-S-SA

*1 包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。 *2 包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。

Evident激光显微镜 OLS5000-SAF配置示例