中国粉体网讯  半导体产业是关乎国家经济，政治和国防安全的战略产业。在半导体产业中，先进陶瓷的研发与生产水平直接影响我国半导体产业的发展。因此，无论从经济安全角度还是产业成本考虑，要突破我国半导体产业面临“卡脖子”的窘境，必须重视先进陶瓷的发展。2023年6月14日，由中国粉体网主办的“第二届半导体行业用陶瓷材料技术研讨会”在江苏苏州隆重开幕，会议期间，我们邀请到众多专家学者做客“对话”栏目，围绕先进陶瓷在半导体行业的应用研究进行访谈交流。本期，我们邀请到的是赣州中傲新瓷科技有限公司研发总监缪锡根。 

中国粉体网：缪总，请介绍一下公司的主营产品及应用领域。 

缪总：我司（赣州中傲新瓷科技有限公司）致力于特种玻璃与新型陶瓷的研发、生产与销售。目前主营产品有三大类：封接玻璃造粒粉、金属玻璃封接件、和低温共烧陶瓷（LTCC）瓷粉。封接玻璃粉用于制冷设备（空调、冰箱等）压缩机接线端子的电极封接；封接件包括锂电池盖帽的电极封接和半导体芯片的封装基座；LTCC瓷粉用于制备陶瓷基板，多层片式高频电容器、电感器和射频滤波器，等等。

锂电池盖帽

中国粉体网：缪总，堇青石材料在半导体设备中的应用有哪些？其优势体现在哪？

缪总：堇青石陶瓷是高端EUV光刻机不可或缺的，主要用于曝光装置的镜面基板、高精度光刻图案掩膜板、掩膜板静电吸盘、晶圆静电吸盘或工作平台等。堇青石陶瓷之所以能用于45nm以下的高端光刻机设备中，是因为堇青石陶瓷具有其他陶瓷材料无可媲美的接近于零的热膨胀系数、良好的形体可加工性和表面可抛光性，以及比较高的比刚度等等。这些特性可以使光刻图案线条的粗糙度控制在0.1nm(rms；均方根)以下。

中国粉体网：由堇青石合成的复合材料有哪些？其应用在哪些领域？

缪总：堇青石作为一种结构陶瓷和其他陶瓷材料一样，有优点也有缺点，所以有必要开发堇青石与其他陶瓷相结合的复合材料，以便发辉各自的优势。与堇青石复合的其他陶瓷包括几乎所有的先进陶瓷，如氧化物（氧化铝、氧化锆、莫来石、锆英石），碳化物（SiC、WC、B4C），氮化物（Si3N4/、AlN、BN）等。这些堇青石陶瓷基复合材料可广泛用于半导体制造、电子封装、红外辐射散热、太阳能热发电、导弹天线罩、太空望远镜等高端应用领域。

中国粉体网：用于半导体制造设备的堇青石结构件的加工难点是什么？该如何解决？

缪总：用于半导体制造设备的堇青石结构件的加工难点主要体现在对显微结构的极低孔隙率或最高致密度要求，以及对堇青石结构件表面的极高平整度和极低粗糙度的要求。目前国内的陶瓷工艺技术和冷、热等静压设备水平可以解决堇青石结构件的高度致密化问题，比较难办的是如何实现陶瓷结构件的极高表面精度要求，这需要加大对大型数控机床（包括磨具，抛光液，研磨工艺），和纳米级表面精度评价的测量仪器等方面的研发投入。

中国粉体网：我国对于堇青石材料用于半导体设备中的研究现状如何？

缪总：日本京瓷集团早已研制出半导体制造设备用的堇青石陶瓷结构件，并在打造智能化工厂来稳定批量化生产陶瓷结构件。ASML公司已在高端EUV光刻机中使用堇青石陶瓷结构件。从公开的文献资料来看，我国最近2-3年才开始涉足光刻机应用领域的堇青石陶瓷，所获得的陶瓷致密度和材料性能还有待改进，比国外现状估计有10来年的差距。我国已能够生产中低端光刻机，目前的国产陶瓷结构件已能满足中低端光刻机的要求。但如果我们要攻克高端EUV光刻机技术难关，高端陶瓷材料必须先行，这就绕不开高端堇青石陶瓷结构件的开发这一难题。破解之策在于举国体制、产业联盟、大力投入。当然对国际国内的市场竞争形势要有充分的了解，例如要研究国外产品的竞争风险，国内量子光芯片等弯道超车技术的发展、市场规模与需求量的不确定性等问题。

中国粉体网：好的，谢谢缪总接受我们的采访。

（中国粉体网编辑整理/山川）

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