电子科学与技术学科前身是成立于1971年的国内第一批激光技术专业。中科院院士、著名国防科技专家、新时期高级知识分子的楷模马祖光是学科创始人。1986年建立物理电子学与光电子学博士点(2001年评为国家重点二级学科)，1994年建立可调谐(气体)激光技术国家级重点实验室，2001年成立博士后流动站。2004年建立国家集成电路人才培养基地，2006年与机械工程学科等共建微系统与微结构制造教育部重点实验室，2007年建立卫星激光通信技术国防重点学科实验室，2022年与电气工程学科等共建电子元器件可靠性与质量一致性教育部重点实验室，2022年与哈工大（深圳校区）等共建印刷电子技术工信部重点实验室，被列为首批“211工程”与“985工程”重点建设学科。目前“电子科学与技术”学科包括“物理电子学”和“微电子学与固体电子学”两个二级学科方向，包含“光电子信息科学与技术系”和“微电子科学与技术系”两个二级单位。学科现有教师81人，其中教授38人，副教授24人，学科拥有一批具有影响力的学术带头人。已故的马祖光院士曾任国务院学位委员会委员、国家教委科技委委员等职。

学科发展瞄准国际学科前沿方向，紧密结合我国航天国防建设与国家发展的需求而进行，在卫星光通信、激光遥感与激光诊断、高功率激光技术与非线性光学、中长波红外固体激光、高可靠IC设计与先进SoC技术、微纳器件与微系统等方向独具特色。多年来，学科获国家技术发明奖一等奖1项、国家科学技术发明二等奖1项、入选中国高校十大科技进展2项、首个国防发明特等奖1项等多项奖励。本学科研究团队取得的标志性研究成果主要有：2011年进行了我国首次星地激光通信试验；2017年成功进行了国际首次星-地双向5Gbps高速激光通信试验等。