20 世纪 90 年代，Bosch 开发了可用于汽车的微机械传感器，该传感器的工作原理类似于人类的感觉器官，可测量加速度、旋转、压力和声音。比如，它们向电子控制单元传输信息，可令其明确知晓在发生事故时何时为气囊充气。2005 年，Bosch 还开始为消费电子产品生产传感器，比如，智能手机或游戏机。最小的 MEMS 只有 1.5 毫米宽。Bosch 研发团队发明了“等离子蚀刻”工艺，专门用于生产这些微型部件。1995 年以来，Bosch 已经生产了约 50 亿个 MEMS，目前已成为该领域的市场领先企业，日产量高达约 400 万个。

照片：微机械传感器 (MEMS) 上的微型部件，用于指示刻度（1995 年）