HSMS/SECS/GEM/GEM300半导体通讯协议解决方案介绍

目录 SECS/GEM协议通讯 1 目录 2 1.介绍 3 1.1 产品概述 3 1.1.1 高扩展性 4 1.2 通讯实现 4 1.2.2多主机实现 4 1.3 当前的SEMI标准 5 1.3.1 功能跟友商对比 6 1.4 软件灵活性 7 1.5 无需学习SECS 7 1.6 自定义消息传递 8 1.7 记录收集 8 1.8 SECS Manual文档 8 1.9 产品清单 8 2 产品结构 9 2.1 控制面板 9 2.2 使用环境 9 2.3 软件开发包 9 2.4 程序设计语言 10 2.5 SECS/GEM手册 10 2.6 运行许可 10 2.7 功能配置 10 3. 产品功能支持 11 3.1 GEM接口 11 3.2.采集事件 11 3.3 警报 11 3.4终端服务 12 3.5数据收集 12 3.6 跟踪数据采集 12 3.7 事件报告 12 3.8过程程序管理 13 3.8设备控制和配置 13 3.8.1远程命令 13 3.4.2设备常数 13 4.高级功能 13

1.SECS/GEM支持 . 支持SEMI E4(SECS I)、E5(SECS II)、E30（GEM）、E37（HSMS）通讯标准。 . 扩展支持SEMI E39、E40、E87、E90、E94、E116、E142 . 支持多开发语言 C、C++、C#、Labview、QT。 . 可选PLC与MES的软件桥接模块，无需开发。 . 采用DLL模块方式，自由添加到设备软件中。 . 提供主机EAP模拟软件，轻松自动化控制设备。 . 支持x86、x64 版本

1.1 软件概述 采用优秀的软件框架，灵活支持SECS/GEM、SECS/GEM300，支持高速大量Message交互。

图1 1.1.1 高扩展性 简单便可扩展支持GEM 300，Wafer Map、Strip Map等功能，只需在已有的SECS/GEM上直接添加GEM300功能。

SECS/GEM和SECS/GEM300支持协议 1.2 通讯实现 对于传统实现， SECS/GEM将接口公布给工厂，如下图所示。

图2 1.2.2多主机实现 JNG SECS/GEM将会提供多服务器或多连接功能，一台设备可以公布俩个或者更多GEM接口，或者连接多主机。这很容易实现，只需实例化多份对象。

1.3 当前的SEMI标准 JNG SECS/GEM强调要遵循当前的SEMI标准。

1.4 软件灵活性 JNG SECS/GEM采用分布式设计模型，允许搭建一台高性能服务器作为SECS Equipment服务器与多台设备交互。

1.5 无需学习SECS 1. 用户无需学习SECS/GEM，我们指导和讲解用户所需的知识。让用户轻松无需关心SECS/GEM相关内容。 2. 我们与用户一起设计设备的SECS交互处理流程。 3. 绝大部分SECS/GEM标准都在JNG SECS/GEM中实现，软件应用程序只需最少的编码就能完成SECS/GEM通讯。

1.6 自定义消息传递 JNG SECS/GEM完全支持构建，发送，接收和解析任何SECS-II消息，但用户几乎无需处理SECS-II消息。

1.7 记录收集 轻松收集低级调试信息，例如JNG SECS/GEM的HSMS、SECS-II协议消息发送和接收的消息，以及状态更改。

1.8 SECS Manual文档 . 资料包含设备SECS/GEM的各项指标，使用标准协议以及实现等内容。 . 用户根据SECS Manual便可自行测试和使用设备。 1.9 产品清单

2 产品结构 2.1 控制面板 EquipView.exe设备端连接测试工具是一个图形用户界面（GUI），允许用户在其基础上在次开发或者调用工具进行显示内容。运行图图3

图3 2.2 使用环境 ① Windows XP ② Windows 7 ③ Windows 10 ④ Windows Server 2008 ⑤ Windows Server 2012 ⑥ Windows Server 2016

2.3 软件开发包 ① Microsoft Visual Studio 2010 ② Microsoft Visual Studio 2012 ③ Microsoft Visual Studio 2013 ④ Microsoft Visual Studio 2015 ⑤ 其他：VC6、VS2005、VS2019等

2.4 程序设计语言 ① Microsoft Visual C ② Microsoft Visual C++ ③ Microsoft Visual C# ④ Ni Labview

2.5 SECS/GEM手册 GEM标准要求设备供应商创建描述SECS-II接口和GEM实施的GEM手册（文档）。该模板使创建GEM接口手册变的非常容易，并缩短了完成SECS/GEM接口所需的总时间。

2.6 运行许可 每台设备只需一套运行许可，运行许可无需。

2.7 功能配置 通过配置软件轻松配置各项功能和参数。

图4 3.2.采集事件 GEM接口定义机器的事件。 当设备的状态发生改变，将以事件的形式通知主机。 用户调用EventPost接口即可将设备警报通知给MES。

3.3 警报 GEM接口定义机器的报警。 设置警报时，表示设备发生特定危险事件。警报清除时，表示操作员已确认情况或问题已清除。 用户调用AlarmSet即可将设备警报通知给MES。

3.4终端服务 主机和设备可以使用终端服务为设备操作员交换文本信息。

3.5数据收集 GEM接口定义变量。 变量可以提供重要的机器数据，例如完成的循环次数，总错误，材料ID，时钟，执行状态信息或传感器数据。

图5 3.6 跟踪数据采集 主机可以将设备设置为以指定的频率自动报告状态变量。 该功能已经内置集成在内部，当MES通知设备Trace Data时，金南瓜将主动定期上报数据。

3.7 事件报告 主机可以将计算机配置为在发生指定的收集事件时自动在报告中发送变量值。 该功能无需用户关心和配置，金南瓜已经内置集成在内部。 允许用户自定义或者EAP、MES动态配置

3.8过程程序管理 处理程序管理提供了在主机和设备之间传输处理程序（也称为recipe）的方法。 金南瓜为客户提供最简单的方法，用户无需关心如何上传、下载、删除等管理程式。

3.8设备控制和配置 GEM允许主机使用远程命令和设备常量来控制和配置机器。 3.8.1远程命令 GEM接口定义一组远程命令，使得服务器可以远程控制设备。

3.4.2设备常数 每个GEM接口定义一组GEM所需的常量和一组唯一的机器特定常量。设备常量可以配置设备软件和硬件的行为。

4.高级功能 由于功能实现困难，国内基本没供应商有能力实现该功能，而我们已经实现提供给终端使用。 Wafer Map 和Strip Map上传下载，在固晶机器和点测设备属于重要的功能。点测设备将测量结果通过Map报告测量结果，固晶机器通过Wafer Map获知需要提取的颗粒。 符合标准E39、E142要求和规范。