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2023-11-03 03:39| 来源: 网络整理| 查看: 265

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1、半导体的故事

  《半导体的故事》是关于半导体科学技术发展的不错科普图书,重点描述了许多重要的半导体器件的诞生和发展过程的历史,截至2000年左右。这本书不像标准教科书那样仅仅关注半导体物理与器件技术,而是把历史和科学有机地结合起来,在相关应用的具体背景下讲述器件的发展。正文重点描述了半导体科研的历史沿革以及个人和研究小组的具体贡献,同时用独立的专题介绍了相关的科学概念和技术细节。   全书共10章,47个专题,近300张图片(包括书末40余幅珍贵图片,首先概述了半导体研究的对象、范围和早期历史,以猫须探测器为例介绍了半导体的早期应用,说明了材料、物理和器件这三者的相互作用在半导体研究中的重要性。然后是晶体管的诞生、少子法则的确立以及硅基半导体的迅猛发展和巨大成功。接下来是化合物半导体的发展,重点介绍了微波器件、发光二极管和激光… 在这里插入图片描述

图1 半导体的故事

2、半导体物理学

  本书以正确阐述物理概念为主,辅以必要的数学推导,理论分析有一定深度,但又不是把基本物理概念淹没在繁琐的数学运算中,使读者通过学习,达到对半导体中的各种基本物理现象有一全面正确的概念,建立起清晰的半导体物理图像,为后续课程的学习,研究工作的开展,理解各种半导体器件,集成电路的工作机理打下良好的基础。 在这里插入图片描述

图2 半导体物理学 刘恩科 第七版 (刘恩科)

3、半导体物理与器件 (第三版)

  本书是微电子技术领域的基础教程。全书涵盖了量子力学、固体物理、半导体材料物理及半导体器件物理等内容,分成三部分,共计15章。   第一部分为半导体材料属性,主要讨论固体晶格结构、量子力学、固体量子理论、平衡半导体、输运现象、半导体中的非平衡过剩载流子;第二部分为半导体器件基础,主要讨论pn结、pn结二极管、金属半导体和半导体异质结、金属氧化物半导体场效应晶体管、双极晶体管、结型场效应晶体管;第三部分为专用半导体器件,主要介绍光器件、半导体微波器件和功率器件等。 在这里插入图片描述

图3 半导体物理与器件

4、半导体制造技术

  本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了各种新技术资料,学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分20章,根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节,包括与半导体制造相关的基础技术信息;总体流程图的工艺模型概况,用流程图将硅片制造的主要领域连接起来;具体讲解每一个主要工艺;集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外,各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题,这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。 在这里插入图片描述

图4 半导体制造技术

5、半导体芯片制造技术

  《半导体芯片制造技术》全面系统地介绍了半导体芯片制造技术,内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀、掺杂及封装。书中简要介绍了半导体芯片制造的基本理论基础,系统介绍了多晶半导体、单晶半导体与晶圆的制备,详细介绍了薄膜制备、光刻与刻蚀及掺杂等工艺。由于目前光电产业的不断发展,对于化合物半导体的使用越来越多,《半导体芯片制造技术》以半导体硅材料芯片制造为主,兼顾化合物半导体材料芯片制造,比如在介绍薄膜制备工艺中,书中用单独的一章介绍了如何通过金属有机物化学气相沉积来制备化合物半导体材料薄膜。 在这里插入图片描述

图5 半导体芯片制造技术 (杜中一 主编)

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