半导体行业产生的废气通过分类密闭收集处理，有酸性废气、碱性废气、有机废气、有毒有害废气、一般尾气等。不同类型的废气所选用的半导体环保设备有所不同。处理系统有机台端的POU本地处理和厂务端（Fab）中央处理系统；如热氧化、CVD、干法刻蚀、离子注入等工艺制程中会产生特性气体（硅烷、砷烷、磷烷、全氟烃、含卤素气体等有毒和高沸点废气），先经本地Local Scrubber预处理，后经入厂务端的中央处理系统集中处理。 中央处理系统集中处理有酸性废气处理系统（SEX）、碱性废气处理系统（AEX）、有机废气处理系统（VEX）、砷排处理系统（ASX）、一般排气系统（GEX）等，其中一般排气系统所排废气无污染，起排风散热作用。

Local Scrubber预处理可避免从排气过程中引发风管堵塞、管路腐蚀、局部聚积或气体相互反应，导致气体泄漏、火灾爆炸等事故。 Local Scrubber的处理方法有燃烧水洗、高温水洗、等离子水洗、干法吸附等。经Local Scrubber处理后的废气主要为氟化物、氯化氢、氯气等，进入厂务端酸性废气系统集中处理。

格林斯达环保集团 Local Scrubber 预处理设备

半导体行业酸性废气来源于清洗、溅射、湿法刻蚀、湿法去胶和经Local Scrubber处理后的工艺废气，其主要组成为HF、HCl、Cl2、H2SO4、SO2等；碱性废气主要来源于清洗、湿法刻蚀、光刻显影、去胶、CMP等工艺，污染物为NH3、NaOH等。碱性废气处理工艺也采用喷淋洗涤处理，常用吸收液为H2SO4溶液。

格林斯达环保集团立式废气洗涤塔

酸性/碱性废气洗涤塔分为卧室和立式两种结构，卧式洗涤塔一般适用对高度有限制的场地，而立式洗涤塔用于厂地面积有限但高度无限的项目上，其处理效率不受影响都可达98%。

格林斯达环保集团卧式废气洗涤塔

酸性/碱性洗涤塔采用pH值、液位值和电导值控制水箱中碱液的加入和补/排水的循环，通过测量液位控制补水，电导率控制排水；pH值控制碱液的加入。整个过程实现全自动化控制，免除人工加药及检测过程，操作方便，易于检修。

半导体行业有机废气主要来源于清洗、CVD、光刻、湿法刻蚀、去胶及扩散等工艺；有机废气种类主要包括异丙醇、丙酮、丙二醇单甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、重芳烃等。因半导体行业VOCs废气具有风量大，浓度低的特点，其风量通常大于11000m3/h，浓度大约在50~1000mg/m3之间（以非甲烷总烃计）所以常用的半导体有机废气处理技术即沸石浓缩转轮+直接燃烧（TO），效率可达≥95%。

格林斯达环保集团沸石转轮+高温氧化炉TO

含砷有毒有毒废气来源掺杂制程工序，包括砷烷、磷烷和硼烷。目前，随着国家及各地区环保排放标准越来越严格，在含砷系统Local Scrubber预处理后在Fab中央端再次进行干式吸附，常用设备为砷磷烷吸附塔，吸附后通过末端风机负压达标排放。 砷烷等与吸附剂发生化学吸附、复分解等反应，生成稳定的无毒无害的化合物，吸附剂是砷排系统的关键之重。

格林斯达环保集团 砷磷烷吸附塔返回搜狐，查看更多

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