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第一章 介绍 第二章 GEM 收集事件 第三章 数据轮询 第四章 GEM 工厂应用支持 第五章 报警 第六章 配方管理 第七章 文档 第八章 设备终端服务 第九章 用户界面 第十章 GEM消息假脱机功能 第十一章 协议层 第十二章 消息日志 第十三章GEM 控制状态 第十四章 总结

目的 GEM为所有半导体制造设备定义了SECS-II的标准实施。 GEM标准定义了一套通用的设备行为和通信功能，可提供支持半导体设备制造商制造自动化程序的功能和灵活性。 设备供应商可提供未包含在GEM中的其他SECS-II功能，只要附加功能不与GEM中定义的任何行为或功能冲突即可。 此类添加可能包括SECS-II消息，收集事件，警报，远程命令代码，处理状态，可变数据项（数据值，状态值或设备常量），或类别特有的其他功能（蚀刻器，步进器等） 。）或特定设备实例。

范围

SECS/GEM标准不会尝试在通信链路中定义主机的行为。主计算机可以随时启动任何GEM消息场景，设备应按照GEM标准中的描述进行响应。当主机或设备启动GEM消息场景时，当主机使用适当的GEM消息时，设备应以GEM标准中描述的方式运行。

通讯

SECS/GEM 通信状态模型 - 通信状态模型定义了与主机是否存在通信链路相关的设备行为.通过定义“建立通信”功能扩展了本节。此模型适用于设备和主机之间的逻辑连接，而不是物理连接。

控制状态

SECS/GEM 控制状态模型Control State Model - CONTROL状态模型定义主机和设备之间的协作级别。它还指定了操作员如何在不同级别的主机控制下进行交互。虽然COMMUNIC