雷尼绍光栅的工作原理

您所在的位置:网站首页 光栅尺的工作原理视频 雷尼绍光栅的工作原理

雷尼绍光栅的工作原理

2023-10-10 07:47| 来源: 网络整理| 查看: 265

单码道栅尺

从本质上说,该栅尺属于全尺线宽的单码道,以30 µm标称栅距为基础。摒弃多个平行码道方式很大程度上避免了扭摆误差,并且读数头的侧向公差更为宽松。

图像采集

栅尺通过非球面透镜在专为RESOLUTE设计定制的探测器阵列上成像,最大程度上降低了图像失真。这种光学滤波系统采用折叠照明路径直接成像,设计精巧且稳定,从而确保了完美测量对保真度的基本要求。

数据解码和分析

探测器采集图像之后,就会通过模数转换器 (ADC) 传输至功能强大的数字信号处理器 (DSP)。接着,专门开发的算法就会从嵌入栅尺的代码中获得真正绝对、但相对粗糙的位置。DSP利用栅尺代码中的冗余和刻意的限制,通过更高级算法检查这一过程,并作出修正。同时,其他程序会计算出非常高分辨率的精细位置,然后与粗糙位置相结合,从而确定真正绝对的、非常高分辨率的位置。

最终检查和数据输出

经过最后的误差检查程序后,该信息作为一个表示定位误差不超过1 nm的纯串行字符通过适当的协议上传到控制器。增加循环冗余检查 (CRC) 可防止电子噪声干扰。整个过程只需短短几微秒,并且每秒可重复多达25,000次。通过各种技术,包括根据轴速度调整光闪持续时间,可以高达100 m/s的速度达到这一性能水平,同时,更重要的是能够在低速时保持极低的位置抖动。



【本文地址】


今日新闻


推荐新闻


CopyRight 2018-2019 办公设备维修网 版权所有 豫ICP备15022753号-3