矢量扫描模式下，图形的曝光时间与束斑投射次数有关，在固定高斯束（圆形束）斑模式下，我们需要进行 24 次投射。 

为了加快曝光速率，图形可分解为最小基本图形的组合，以最小基本图形作为电子束斑的形状。在这种修正束斑模式下只需要 6次投射就可以了。

 但是在实际生产过程中图形不是一成不变的，需要经常重设基本束斑形状，因此需要一种更加灵活的投射方式。一种束斑可变的模式能够应用于图形多样化的情况。如下图所示，在可变束斑模式下，电子束斑可根据具体的图形进行调整，改变束斑的基本形状，将投射次数减少到了 3 次。